[實用新型]多晶硅生產線尾氣回收凈化處理裝置

無效

• 申請號: 201120071877.1
• 申請日: 2011-03-14
• 公開（公告）號: CN202070281U
• 公開（公告）日: 2011-12-14
• 發明（設計）人: 蔣超
• 申請（專利權）人: 蔣超
• 主分類號: B01D53/78
• 分類號: B01D53/78;B01D53/96;C01B33/107;C01B33/12;C01B7/07
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種多晶硅生產線尾氣回收凈化處理裝置，其特征是：包括依次連接的氯硅烷回收裝置(1)、鹽酸與白炭黑回收裝置(2)和尾氣凈化裝置(3)，還包括控制各裝置工作的電氣控制單元，

所述的氯硅烷回收裝置(1)包括冷凝裝置(1-1)和氯硅烷回收罐(1-2)，冷凝裝置(1-1)的氣體進口管路連接生產線尾氣出口，冷凝裝置(1-1)的冷凝液體出口管路連接氯硅烷回收罐(1-2)；

所述的鹽酸與白炭黑回收裝置(2)包括鹽酸回收塔(2-1)、鹽酸循環池(2-2)、鹽酸回收罐(2-3)、超聲波循環槽(2-4)、白炭黑過濾槽(2-5)和白炭黑回收罐(2-6)，鹽酸回收塔(2-1)的氣體進口管路連接所述的冷凝裝置(1-1)的氣體出口，鹽酸回收塔(2-1)的洗滌液出口管路連接超聲波循環槽(2-4)的進口，超聲波循環槽(2-4)的出口連接到白炭黑過濾槽(2-5)的進口，白炭黑過濾槽(2-5)的白炭黑出口管路連接白炭黑回收罐(2-6)，白炭黑過濾槽(2-5)的鹽酸出口連接到鹽酸循環池(2-2)的進口，鹽酸循環池(2-2)的鹽酸出口管路分別連接鹽酸回收罐(2-3)和鹽酸回收塔(2-1)的洗滌液進口；

所述的尾氣凈化裝置(3)包括尾氣凈化塔(3-1)和堿液循環池(3-2)，尾氣凈化塔(3-1)的氣體進口管路連接所述的鹽酸回收塔(2-1)的氣體出口，尾氣凈化塔(3-1)的洗滌液進口管路連接堿液循環池(3-2)的洗滌液出口，尾氣凈化塔(3-1)的洗滌液出口管路連接堿液循環池(3-2)的洗滌液進口。

2.如權利要求1所述的多晶硅生產線尾氣回收凈化處理裝置，其特征是：所述的冷凝裝置(1-1)包括依次串聯的一級換熱器(1-11)和二級換熱器(1-12)，還設有為一級換熱器(1-11)和二級換熱器(1-12)提供冷卻介質的冷凍機組和壓縮機，一級換熱器(1-11)的氣體進口管路連接多晶硅生產線尾氣出口，一級換熱器(1-11)的氣體出口管路連接二級換熱器(1-12)的氣體進口，二級換熱器(1-12)的氣體出口管路連接鹽酸回收塔(2-1)，一級換熱器(1-11)和二級換熱器(1-12)的冷凝液出口管路連接氯硅烷回收罐(1-2)。

3.如權利要求2所述的多晶硅生產線尾氣回收凈化處理裝置，其特征是：所述的一級換熱器(1-11)和二級換熱器(1-12)為列管式換熱器，所述的一級換熱器(1-11)的冷卻介質為低溫冷凍鹽水，所述的二級換熱器(1-12)的冷卻介質為R404或R507制冷劑。

4.如權利要求1所述的多晶硅生產線尾氣回收凈化處理裝置，其特征是：所述的鹽酸回收塔(2-1)包括依次串聯的一級鹽酸回收塔(2-11)和二級鹽酸回收塔(2-12)，一級鹽酸回收塔(2-11)的氣體出口管路連接二級鹽酸回收塔(2-12)的氣體進口，二級鹽酸回收塔(2-12)的氣體出口管路連接尾氣凈化塔(3-1)的氣體進口，一級鹽酸回收塔(2-11)的洗滌液出口管路連接超聲波循環槽(2-4)的進口。

5.如權利要求4所述的多晶硅生產線尾氣回收凈化處理裝置，其特征是：所述的鹽酸循環池(2-2)數量為兩個，分別為與一級鹽酸回收塔(2-11)對應的一級鹽酸循環池(2-21)，與二級鹽酸回收塔(2-12)對應的二級鹽酸循環池(2-22)，超聲波循環槽(2-4)的出口管路通過白炭黑過濾槽(2-5)后連接一級鹽酸循環池(2-21)的進口，一級鹽酸循環池(2-21)的出口管路連接鹽酸回收罐(2-3)和一級鹽酸回收塔(2-11)的洗滌液進口，二級鹽酸回收塔(2-12)的洗滌液出口管路連接二級鹽酸循環池(2-22)的進口，二級鹽酸循環池(2-22)的出口管路分別連接一級鹽酸循環池(2-21)和二級鹽酸回收塔(2-12)的洗滌液進口。

6.如權利要求1所述的多晶硅生產線尾氣回收凈化處理裝置，其特征是：所述的白炭黑過濾槽(2-5)和白炭黑回收罐(2-6)之間的管路上具有第一輸送泵和第一電磁開關閥，所述的鹽酸循環池(2-2)和鹽酸回收罐(2-3)之間的管路上具有第二輸送泵和第二電磁開關閥。

7.如權利要求1所述的多晶硅生產線尾氣回收凈化處理裝置，其特征是：所述的鹽酸回收塔(2-1)的洗滌液進口和鹽酸循環池(2-2)之間的管路上具有兩個并聯的互為備用的第一組循環泵，所述的尾氣凈化塔(3-1)的洗滌液進口和堿液循環池(3-2)之間的管路上具有兩個并聯的互為備用的第二組循環泵。