[實用新型]一種臥式收放線張力控制機構

有效

• 申請號: 201120070288.1
• 申請日: 2011-03-17
• 公開（公告）號: CN202062533U
• 公開（公告）日: 2011-12-07
• 發明（設計）人: 金萬斌;張寶玉
• 申請（專利權）人: 蘇州赫瑞特電子專用設備科技有限公司
• 主分類號: B28D7/00
• 分類號: B28D7/00
• 代理公司: 南京經緯專利商標代理有限公司 32200
• 代理人: 曹毅

技術領域

本實用新型屬于多線切割機領域，具體的涉及一種一種臥式收放線張力控制機構。

背景技術

多線切割技術是目前世界上比較先進的硅片加工技術，它的原理是通過一根高速運動的鋼線帶動附著在鋼絲上的切割刃料對半導體等硬脆材料進行摩擦，從而達到切割效果。在整個過程中，鋼線通過十幾個導線輪的引導，在主線輥上形成一張線網，而待加工工件通過工作臺的上升下降實現工件的進給，可將半導體等硬脆材料一次同時切割為數百片，多線切割技術與其他技術相比有：效率高，產能高，精度高等優點。已逐漸取代了傳統的刀鋸片、砂輪片及內圓切割，是目前采用最廣泛的半導體等硬脆材料切割技術。

多線切割機在一定速度下的鋼線張力精確控制是關鍵的、必要的。第一要有快速的張力變動響應，保證切削時恒定的鋼線張力；第二需要收線和放線有單獨的排線結構，拓寬工藝路線；第三需要可靠斷線檢測功能，確保意外斷線后及時停車；第四盡量簡化結構，減少過線導輪數量，降低斷線幾率。在現有產品中過線輪結構不合理，由于過線輪的失效導致的斷線幾率較高，且在斷線后沒有可靠的斷線檢測手段。

實用新型內容

為克服現有技術中的不足，本實用新型旨在提供一種臥式收放線張力控制機構，該機構實現線切割機鋼線張力的精確控制，提高鋼線張力控制的可靠性，提升整體性能。

為實現上述技術目的，達到上述技術效果，本實用新型通過以下技術方案實現：

一種臥式收放線張力控制機構，包括基板，還包括一鋼線，所述鋼線由放線輥、長導線輪、放線排線導線輪、放線張力測量導輪、放線排線控制導輪控制放線側張力；所述鋼線由切削室導出后，經收線張力控制導輪、收線張力測量導輪、收線排線導輪和收線輥控制收線側張力；限位柱固聯于所述張力控制導輪和放線排線控制導論兩側；防轉塊固聯于所述基板上，位于所述放線輥和收線輥左上方。

進一步的，所述收線輥由左右兩處的錐頭支撐在軸上，通過螺栓、壓塊和蝶簧軸向定位；所述軸經聯第一軸器與第一電機連接；同時所述軸由左右兩處的軸承支撐于軸承座上，所述軸承座通過端面絕緣墊、第一絕緣襯套和第二絕緣襯套固聯于所述基板上；所述第一電機通過聯結法蘭固聯于所述基板。

進一步的，所述收線排線導輪通過軸承支撐于導輪軸，所述導輪軸固聯于直線軸，所述直線軸通過固定座、第一連桿和連板與絲桿固聯，并由軸線軸承支撐于所述基板上；所述絲桿經第二聯軸器與第二電機相連，并由左右兩處的軸承支撐于支架上，所述支架固聯于所述基板。

進一步的，所述收線張力控制導輪由軸承支撐于導輪軸上，并通過第二連桿、接軸固接于第三電機，所述第三電機固聯于所述基板。

進一步的，所述防轉塊內部開有通孔，防轉桿在所述通孔內自由滑動，限位桿固聯于所述防轉桿上。

進一步的，絕緣碳刷支架固聯于所述聯結法蘭上，碳刷座固聯于所述絕緣碳刷支架上，碳刷安裝在所述碳刷座內，所述碳刷座與刷環固連，所述刷環與軸固聯；壓指通過銷鉸接于所述絕緣碳刷支架上，并通過固定在支桿上彈簧施加壓力于碳刷。

進一步的，所述長導線輪由軸承支撐于空軸上，所述空軸與所述基板固聯。

與現有技術相比，本實用新型具有以下有益效果：

本實用新型采用伺服拖動控制鋼線張力，實現鋼線高速下張力的精確控制；采用獨立的收放線排線結構，提升了工藝的靈活性；簡化了過線導輪的空間布局，降低了斷線的幾率。

上述說明僅是本實用新型技術方案的概述，為了能夠更清楚了解本實用新型的技術手段，并可依照說明書的內容予以實施，以下以本實用新型的較佳實施例并配合附圖詳細說明如后。本實用新型的具體實施方式由以下實施例及其附圖詳細給出。

附圖說明

此處所說明的附圖用來提供對本實用新型的進一步理解，構成本申請的一部分，本實用新型的示意性實施例及其說明用于解釋本實用新型，并不構成對本實用新型的不當限定。在附圖中：

圖1示出了本實用新型的外部結構示意圖。

圖2示出了圖1中K-K的剖視圖。

圖3示出了圖2中L-L的剖視圖。

圖4示出了圖1中N-N的剖視圖。