[實用新型]硅片切割廢砂漿中硅與碳化硅分離回收裝置

無效

• 申請號: 201120045452.3
• 申請日: 2011-02-23
• 公開（公告）號: CN202030529U
• 公開（公告）日: 2011-11-09
• 發明（設計）人: 丁輝;張瑞玲;王哲;羅偉;張艷華;李鑫鋼
• 申請（專利權）人: 天津大學
• 主分類號: C01B33/02
• 分類號: C01B33/02;C01B33/037;C01B31/36;B01D57/02;C10M175/00
• 代理公司: 天津市北洋有限責任專利代理事務所 12201
• 代理人: 王麗

1.一種硅片切割廢砂漿中硅與碳化硅分離回收裝置，其特征是：進口管(1)連接到垂直電泳槽筒體(2)上，在垂直電泳槽中上方為陽極電極管(3)下方為陰極電極管(4)，陽極電極管由一根主電極管和相垂直的副電極管組成，陽極電極管下方有小孔，陽極電極管主電極管出口連接硅出口管(5)，硅出口管另一側連接硅出口泵(6)，硅出口泵連接到硅回收罐(7)中；陰極電極管也是由一根主電極管和相垂直的副電極管組成，陰極電極管上方有小孔，陰極電極管主電極管連接碳化硅出口管(8)，碳化硅出口管另一側連接碳化硅出口泵(9)，碳化硅出口泵連接到碳化硅回收罐(10)中，外置電源(11)正極連接到陽極電極管上，負極連接到陰極電極管上。

2.根據權利要求1所述的硅片切割廢砂漿中硅與碳化硅分離回收裝置，其特征是：電極采用了電極管的形式，陰陽極電極管均由一根主電極管和相垂直的副電極管組成，并且在電極管上開了若干小孔。

3.根據權利要求1所述的硅片切割廢砂漿中硅與碳化硅分離回收裝置，其特征在于：電泳槽采用注塑材料整體加工成形，或者采用金屬材料分體做成。

4.根據權利要求2所述的硅片切割廢砂漿中硅與碳化硅分離回收裝置，其特征在于：電極采用金屬及合金材料。