[實(shí)用新型]硅片多線切割斷線檢測(cè)裝置

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201120042003.3
• 申請(qǐng)日: 2011-02-17
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN201979616U
• 公開(kāi)（公告）日: 2011-09-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王明
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 揚(yáng)州榮德新能源科技有限公司;無(wú)錫尚德太陽(yáng)能電力有限公司
• 主分類號(hào): B28D7/00
• 分類號(hào): B28D7/00;B28D5/04
• 代理公司: 北京金信立方知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11225
• 代理人: 郭迎俠;廉振保

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于硅片切割技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及用于硅片多線切割的斷線檢測(cè)裝置。

背景技術(shù)

硅片是半導(dǎo)體和光伏領(lǐng)域的主要生產(chǎn)材料。多線切割設(shè)備是用于切割硅片的設(shè)備，其是通過(guò)密集金屬線的高速往復(fù)運(yùn)動(dòng)，將硅塊材料一次同時(shí)切割成數(shù)百或數(shù)千片薄片。在整個(gè)切割過(guò)程中，金屬線從放線輥到收線輥通過(guò)多個(gè)導(dǎo)線輥的引導(dǎo)，在相對(duì)設(shè)置的一對(duì)加工輥上形成一張水平線網(wǎng)，而待切割硅塊通過(guò)工作臺(tái)的下降實(shí)現(xiàn)從上到下的進(jìn)給。

在切割的過(guò)程中，斷線現(xiàn)象一直是線切割加工中的一個(gè)嚴(yán)重問(wèn)題。斷線使加工停頓并不得不從頭開(kāi)始，從而浪費(fèi)大量工時(shí)，而且破壞了加工面的完整性。由于作為切割面的線網(wǎng)是由一根金屬線在兩個(gè)加工輥之間有序排布，形成一個(gè)切割平面，當(dāng)切割斷線發(fā)生后，斷線位置的線網(wǎng)無(wú)法按序繼續(xù)行駛，如果不能及時(shí)停機(jī)，加工輥將仍處于運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)，這樣將由于慣性導(dǎo)致在斷線位置線網(wǎng)開(kāi)裂并向后抽空，直至停機(jī)。因切割過(guò)程中線網(wǎng)抽空后無(wú)法進(jìn)行重新排布，所以抽空處的硅塊無(wú)法繼續(xù)切割，造成硅塊原料的嚴(yán)重浪費(fèi)。因此必須設(shè)置斷線檢測(cè)設(shè)備，以便在斷線發(fā)生后及時(shí)停機(jī)，避免或減少抽空的發(fā)生。

圖1為現(xiàn)有技術(shù)中設(shè)置在多線切割設(shè)備上的斷線檢測(cè)裝置的局部結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為圖1的俯視圖。圖3為現(xiàn)有技術(shù)中的斷線檢測(cè)裝置與多線切割設(shè)備的連接結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1至圖3所示，現(xiàn)有的斷線檢測(cè)裝置主要包括分別與放線輥1和收線輥2連接并隨放線輥1和收線輥2旋轉(zhuǎn)的兩個(gè)轉(zhuǎn)軸3，轉(zhuǎn)軸3的外側(cè)設(shè)置與轉(zhuǎn)軸3相接觸并且相對(duì)應(yīng)的由支架4支撐的兩個(gè)電刷5，支架4的下端由支架支撐軸6支撐，支架支撐軸6上設(shè)置有使支架4與支架支撐軸6絕緣的絕緣套7。電刷5分別通過(guò)導(dǎo)線8與斷線檢測(cè)控制器9連接，斷線檢測(cè)控制器9同時(shí)與多線切割設(shè)備的機(jī)架(圖中未示出)連接，能檢測(cè)機(jī)架與金屬線導(dǎo)通時(shí)發(fā)生的信號(hào)。

當(dāng)多線切割設(shè)備的金屬線10出現(xiàn)斷線情況，斷了的金屬線10會(huì)接觸多線切割設(shè)備，使斷線檢測(cè)控制器9能夠感知，向多線切割設(shè)備發(fā)出信號(hào)，從而控制停機(jī)，達(dá)到保護(hù)生產(chǎn)的目的。作為多重保護(hù)，斷線檢測(cè)控制器9在接收多線切割設(shè)備金屬線接地信號(hào)的同時(shí)，斷線檢測(cè)控制器9也通過(guò)放線輥1一側(cè)的轉(zhuǎn)軸3和電刷5，收線輥2一側(cè)的轉(zhuǎn)軸3及電刷5，自行發(fā)送接收一定數(shù)目的信號(hào)。正常情況下，斷線檢測(cè)控制器9發(fā)送的信號(hào)數(shù)目和接收的信號(hào)數(shù)目相匹配。由于現(xiàn)有技術(shù)中一個(gè)轉(zhuǎn)軸3上的兩個(gè)電刷5位于轉(zhuǎn)軸3的同一橫截面上，且轉(zhuǎn)軸3與電刷5均采用銅材料制成，因此電刷5與轉(zhuǎn)軸3之間磨損嚴(yán)重，接觸條件變差，可能會(huì)有信號(hào)數(shù)目的丟失，造成信號(hào)數(shù)目不匹配，進(jìn)而誤報(bào)警停機(jī)，同時(shí)磨耗掉的銅屑聚集在支架4下面的支架支撐軸6內(nèi)，使支架4與支架支撐軸6導(dǎo)通，使斷線檢測(cè)控制器9錯(cuò)誤地接收到金屬線10已接觸到機(jī)架的信息(實(shí)際金屬線10未斷)，斷線檢測(cè)控制器9向多線切割設(shè)備發(fā)出信號(hào)使其停機(jī)。因此給正常生產(chǎn)帶來(lái)影響。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種硅片多線切割斷線檢測(cè)裝置，該硅片多線切割斷線檢測(cè)裝置的轉(zhuǎn)軸磨損較小，減少銅屑的聚集使設(shè)備之間不會(huì)發(fā)生電導(dǎo)通，從而使多線切割設(shè)備在未斷線的情況下不會(huì)因收到停機(jī)信號(hào)而發(fā)生停機(jī)。

為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型采用了如下技術(shù)方案：一種硅片多線切割斷線檢測(cè)裝置，包括斷線檢測(cè)控制器，所述斷線檢測(cè)控制器分別通過(guò)一對(duì)電刷與多線切割設(shè)備的放線輥和收線輥的轉(zhuǎn)軸電連接，其中，每對(duì)電刷在所述轉(zhuǎn)軸的軸向上錯(cuò)開(kāi)設(shè)置。

作為優(yōu)選，每對(duì)電刷在所述轉(zhuǎn)軸的軸向上錯(cuò)開(kāi)一個(gè)電刷的厚度的距離。

作為優(yōu)選，所述電刷為石墨碳刷。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果在于：

1、本實(shí)用新型的硅片多線切割斷線檢測(cè)裝置位于同一轉(zhuǎn)軸外側(cè)的兩個(gè)電刷在轉(zhuǎn)軸的軸向上錯(cuò)開(kāi)設(shè)置，減少了轉(zhuǎn)軸的磨損。

2、本實(shí)用新型的硅片多線切割斷線檢測(cè)裝置中的電刷采用石墨碳刷，更進(jìn)一步減少了轉(zhuǎn)軸的磨損，防止了因銅屑聚集電導(dǎo)通而發(fā)生誤報(bào)警停機(jī)的情況，同時(shí)石墨本身有潤(rùn)滑轉(zhuǎn)軸與電刷接觸面的作用。

附圖說(shuō)明

圖1為現(xiàn)有技術(shù)中設(shè)置在多線切割設(shè)備上的斷線檢測(cè)設(shè)備的局部結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為圖1的俯視圖。

圖3為現(xiàn)有技術(shù)中的斷線檢測(cè)系統(tǒng)與多線切割設(shè)備的連接結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4為本實(shí)用新型的實(shí)施例的硅片多線切割斷線檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖5為圖4的俯視圖。

圖6為本實(shí)用新型的實(shí)施例的硅片多線切割斷線檢測(cè)設(shè)備與多線切割設(shè)備的連接結(jié)構(gòu)示意圖。

標(biāo)記說(shuō)明

1-放線輥????????????2-收線輥

3-轉(zhuǎn)軸??????????????4-支架