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[實用新型]熱畸變自補償高能激光反射鏡無效

專利信息
申請號: 201120039751.6 申請日: 2011-02-16
公開(公告)號: CN201994558U 公開(公告)日: 2011-09-28
發明(設計)人: 彭玉峰 申請(專利權)人: 河南師范大學
主分類號: H01S5/10 分類號: H01S5/10;H01S5/024
代理公司: 鄭州中原專利事務所有限公司 41109 代理人: 張紹琳;蘇宇鋒
地址: 453007 *** 國省代碼: 河南;41
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 畸變 補償 高能 激光 反射
【權利要求書】:

1.一種熱畸變自補償高能激光反射鏡,包括基片,基片前側面為反射面,反射面中央區域構成光斑區域,其特征在于:在基片后側面環繞其光斑區域設有多個小孔,小孔軸線垂直于基片后側面,小孔的深度小于基片的厚度,在基片后側面中部固定有銅底座,銅底座通過導熱管與散熱片相連接。

2.如權利要求1所述的熱畸變自補償高能激光反射鏡組,其特征在于:該基片呈圓形,其直徑為90mm,厚度為16mm,在基片后側面設有兩圈小孔,內圈小孔中心位于半徑為30mm的圓周上,其小孔的直徑為5mm,深度為13mm,相鄰兩個內圈小孔之間的夾角為15度,外圈小孔中心位于半徑為37mm的圓周上,其小孔的直徑為4mm,深度為13mm,相鄰兩個外圈小孔之間夾角為10度。

3.如權利要求2所述的熱畸變自補償高能激光反射鏡組,其特征在于:基片為單晶硅基片。

4.如權利要求3所述的熱畸變自補償高能激光反射鏡組,其特征在于:散熱片后側面設有風扇。

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