[實(shí)用新型]一種紅外加熱片

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201120032279.3
• 申請(qǐng)日: 2011-01-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN201986179U
• 公開(kāi)（公告）日: 2011-09-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 甘志銀;胡少林;陳倩翌;嚴(yán)晗;王亮
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 廣東昭信半導(dǎo)體裝備制造有限公司
• 主分類號(hào): H05B3/34
• 分類號(hào): H05B3/34
• 代理公司: 廣州市越秀區(qū)哲力專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 44288
• 代理人: 廖平

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種紅外加熱片。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體制造設(shè)備，尤其是需要高溫加熱的半導(dǎo)體制造設(shè)備中，例如，金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積（MOCVD），通常使用加熱片紅外輻射加熱或電磁感應(yīng)加熱。由于MOCVD工藝和生產(chǎn)需要，MOCVD設(shè)備加熱系統(tǒng)經(jīng)常在高溫負(fù)載（1000攝氏度以上）下長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行。如圖1所示，為現(xiàn)有的常規(guī)加熱片，由火線電極1、地線電極2以及平滑的加熱片主體3構(gòu)成。常規(guī)加熱片在上述這種高溫?zé)釠_擊和熱循環(huán)環(huán)境下，加熱片尤其是靠近固定電極附近的位置較容易產(chǎn)生熱應(yīng)力翹曲和斷裂的問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容

為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型提供了一種紅外加熱片，該加熱片具有對(duì)高溫?zé)釠_擊和熱循環(huán)有良好的抵抗能力，而且其可靠性高，壽命長(zhǎng)。

為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案如下：

一種紅外加熱片，包括火線電極、地線電極以及加熱片主體，所述加熱片主體的形狀為波浪形狀。

作為優(yōu)選，所述加熱主體的厚度為0.2mm至5mm。

作為優(yōu)選，所述波浪形狀為半圈、單圈或多圈排列。

本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，波浪形狀的加熱片主體可以有效提高加熱片對(duì)高溫?zé)釠_擊和熱循環(huán)的抵抗能力，從而大幅提高其工作可靠性和壽命。

附圖說(shuō)明

圖1為現(xiàn)有技術(shù)的加熱片的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例的一種紅外加熱片的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

如圖2所示，一種紅外加熱片，包括火線電極11、地線電極12以及加熱片主體13，所述加熱片主體13的形狀為波浪形狀。所述加熱主體的厚度為0.2mm至5mm。

加熱片主體13采用采用耐高溫、導(dǎo)電性好、熱膨脹系數(shù)較小的材料，如石墨、鉬、鎢、鎢錸合金等材料制作而成。

火線電極11、地線電極12分別設(shè)置在加熱片主體13的兩端。根據(jù)工藝溫度需要，在電極中通入特定的直流電或交流電，使加熱片主體13發(fā)熱，通過(guò)紅外輻射方式對(duì)所需物件如石墨基座進(jìn)行加熱。

加熱片主體13的波浪狀形狀可以根據(jù)需要加工成不同長(zhǎng)度、不同排列，例如可以為半圈、單圈，多圈排列，即所述波浪形狀為半圈、單圈或多圈排列。

本實(shí)施例可以廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造設(shè)備的加熱系統(tǒng)，尤其是金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積設(shè)備（MOCVD）的加熱系統(tǒng)，波浪形狀的加熱片主體可以有效提高紅外加熱片對(duì)高溫?zé)釠_擊和熱循環(huán)的抵抗能力，從而大幅提高其工作可靠性和壽命。

上述實(shí)施例只是本實(shí)用新型較優(yōu)選的具體實(shí)施方式的一種，本領(lǐng)域技術(shù)人員在本實(shí)用新型方案范圍內(nèi)進(jìn)行的通常變化和替換都應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。