[實(shí)用新型]一種真空蒸鍍裝置

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201120029869.0
• 申請(qǐng)日: 2011-01-28
• 公開（公告）號(hào): CN202011902U
• 公開（公告）日: 2011-10-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周軍鵬
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 彩虹顯示器件股份有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/26
• 分類號(hào): C23C14/26;C23C14/12
• 代理公司: 西安智大知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 61215
• 代理人: 羅來兵

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種有機(jī)發(fā)光二極管顯示器件(OLED)制備裝置，特別涉及一種真空蒸鍍裝置。

背景技術(shù)

目前，在OLED制備過程中，可以通過多種方法實(shí)現(xiàn)有機(jī)材料成膜。通常情況下，小分子材料采用在真空狀態(tài)下蒸鍍的方法，大分子材料采用溶解為流體進(jìn)行常態(tài)涂敷的方法，如旋轉(zhuǎn)(spin)涂敷方式或狹縫(slit)涂敷方式。

小分子材料真空狀態(tài)下篜鍍常用方法是，將預(yù)定好的具有圖案(pattern)的掩模板(mask)排列在玻璃基板下方，然后將有機(jī)材料蒸鍍到玻璃基板上。使用這種生產(chǎn)技術(shù)，其蒸鍍裝置的設(shè)置非常重要。目前，一般使用的蒸鍍裝置為桶狀體再加上蓋子，在蓋子上設(shè)有多個(gè)小孔，以便被蒸度的有機(jī)材料通過該孔蒸鍍到玻璃基板表面。

但是，這種蒸鍍裝置往往會(huì)在其底部與上部形成溫度差，當(dāng)達(dá)到有機(jī)材料的臨界溫度時(shí)，有機(jī)材料可能會(huì)固化結(jié)晶進(jìn)而堵塞孔，影響蒸鍍速率。另外，桶狀體蒸鍍裝置對(duì)于材料的加熱也會(huì)產(chǎn)生溫度分布不均勻的現(xiàn)象，材料中心溫度低于外側(cè)的溫度，從而導(dǎo)致材料蒸發(fā)速率的不穩(wěn)定。

發(fā)明內(nèi)容

為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型的目的在于提供一種真空蒸鍍裝置，具有加熱均勻，防止堵孔，蒸鍍速率穩(wěn)定，適合有機(jī)發(fā)光顯示器件的制備的特點(diǎn)。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是：一種真空蒸鍍裝置，包括本體3，在本體3的頂端設(shè)有蓋子1，在蓋子1的下方設(shè)有隔板2，本體3的外部設(shè)為圓柱狀，本體3內(nèi)底部設(shè)為錐形狀7，在本體3的周邊和底部設(shè)有加熱套4，在本體3的底側(cè)部設(shè)有與加熱套4相連接的電源6插座。

所述蓋子1上設(shè)有蓋子蒸鍍孔5。

所述隔板2上設(shè)有隔板蒸鍍孔8。

由于本實(shí)用新型采用了內(nèi)錐式的本體3和與之形狀對(duì)應(yīng)的加熱套4，改進(jìn)了現(xiàn)有技術(shù)的有機(jī)材料僅從周邊加熱的技術(shù)缺陷，使得材料加熱均勻，不易二次結(jié)晶固化，取得了防止堵孔，蒸鍍速率穩(wěn)定的良好效果。

附圖說明

圖1為現(xiàn)有技術(shù)結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)俯視圖。

圖3為本實(shí)用新型蓋子的結(jié)構(gòu)俯視圖。

圖4為本實(shí)用新型隔板的結(jié)構(gòu)俯視圖。

具體實(shí)施方式

參照?qǐng)D1，2，3，一種真空蒸鍍裝置，包括放置有機(jī)材料的本體3，在本體3的頂端設(shè)有蓋子1，在蓋子1上設(shè)有若干個(gè)蓋子蒸鍍孔5，在蓋子1的下方設(shè)有隔板2，在隔板2上設(shè)有若干個(gè)隔板蒸鍍孔8，本體3的外部設(shè)為圓柱狀，本體3內(nèi)底部設(shè)為錐形狀7，在本體3的周邊和底部設(shè)有加熱套4，在本體3的底側(cè)部設(shè)有與加熱套4相連接的電源6插座。

本實(shí)用新型的工作過程是：打開蓋子1，將有機(jī)材料放入本體3內(nèi)，蓋好蓋子1，打開加熱套4電源開關(guān)，當(dāng)本體3內(nèi)的溫度達(dá)到蒸散溫度時(shí)，有機(jī)材料將從隔板2的隔板蒸鍍孔8向上蒸散，并通過蓋子1上的蓋子蒸鍍孔5蒸鍍到其上方的玻璃基板表面，即在玻璃基板表面上蒸鍍成一定厚度的有機(jī)膜，蒸鍍時(shí)間由電源開關(guān)定時(shí)器控制。在加熱過程中，由于本體3的內(nèi)底和加熱套4的底部均呈錐形，這樣，本體3中的材料不僅受到通過本體3傳遞的加熱套4熱量，同時(shí)也受到了加熱套4錐形部分的熱量。這種結(jié)構(gòu)起到了在材料中心部分加熱的作用，也就使得有機(jī)材料的加熱均勻性，使得蒸發(fā)速率穩(wěn)定易于控制，有效避免了材料二次結(jié)晶的弊端。

圖中：1為蓋子，2為隔板，3為本體，4為加熱套，5為蓋子蒸鍍孔，6為電源插座，7為錐形狀，8為隔板蒸鍍孔。