[實用新型]晶砣去膠裝置無效
| 申請號: | 201120012874.0 | 申請日: | 2011-01-17 |
| 公開(公告)號: | CN201970181U | 公開(公告)日: | 2011-09-14 |
| 發明(設計)人: | 任先林;陳俊 | 申請(專利權)人: | 常州松晶電子有限公司 |
| 主分類號: | B24B19/22 | 分類號: | B24B19/22 |
| 代理公司: | 常州市維益專利事務所 32211 | 代理人: | 何學成 |
| 地址: | 213034 江蘇省常*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 晶砣去膠 裝置 | ||
技術領域
本實用新型涉及晶砣加工領域,特別是一種用于對晶砣的周邊去膠的裝置。
背景技術
晶片外形加工需要將許多晶片按要求用蠟膠合在一起,形成晶砣,經過去膠后在進行L邊和W邊的切割研磨,由于蠟粘性大,晶砣周邊的殘膠去除比較困難,現有的去膠方式一般有兩種,一種是采用單盤磨加上碳化硅微粉去膠,這種去膠方式會導致晶砣的刮傷,另一種方式是采用平面磨床金剛石砂輪去膠,這種去膠方式會導致金剛石砂輪孔隙被殘膠堵塞,導致晶砣加工應力大,晶砣容易產生崩邊亮點問題。
發明內容
本實用新型的目的在于針對背景技術中所述的現有的晶砣去膠裝置存在的容易將晶砣刮傷以及容易導致晶砣崩邊亮點等問題,提供一種晶砣去膠裝置。
實現本實用新型的技術方案如下:
一種晶砣去膠裝置,其包括機架、設置于機架上的金剛石磨盤和動力裝置,所述的動力裝置包括正反轉電機和減速皮帶輪組,金剛石磨盤與減速皮帶輪組的動力輸出端連接,在機架上還設置有晶砣冷卻裝置。
所述的晶砣冷卻裝置包括水箱和冷卻水滴管,冷卻水滴管的出水口設置于金剛石磨盤的上方。
本實用新型的晶砣去膠裝置與現有的去膠裝置相比具有的有益效果為因為本實用新型的晶砣去膠裝置的動力裝置為正反轉電機和減速皮帶輪組,因此能帶動金剛石磨盤正反向轉動,防止金剛石砂輪孔隙被殘膠堵塞,防止晶砣加工應力加大,防止晶砣產生崩邊亮點,因為本實用新型的晶砣去膠裝置設置有晶砣冷卻裝置,因此,在對晶砣進行去膠的同時能對其進行冷卻,防止其因為與金剛石磨盤摩擦產生熱量而導致晶砣的損壞。
附圖說明
圖1為本實用新型的示意圖;
圖中,1為水箱,2為冷卻水滴管,3為機架,4為金剛石磨盤,5為減速皮帶輪組,6為正反轉電機。
具體實施方式
參照圖1所示的一種晶砣去膠裝置,其包括機架3、設置于機架3上的金剛石磨盤4和動力裝置,所述的動力裝置包括正反轉電機6和減速皮帶輪組5,金剛石磨盤4與減速皮帶輪組5的動力輸出端連接,在機架3上還設置有晶砣冷卻裝置。所述的晶砣冷卻裝置包括水箱1和冷卻水滴管2,冷卻水滴管2的出水口設置于金剛石磨盤4的上方。在對晶砣去膠時,首先開啟電機,通過減速皮帶輪組5的作用,金剛石磨盤4的轉速可以控制在晶砣去膠所需的轉速,金剛石磨盤4在電機的帶動下進行正反向的轉動,水箱1通過冷卻水滴管2想金剛石磨盤4上提供冷卻水,操作人員手持晶砣將晶砣上要去膠的端面與金剛石磨盤4接觸,通過摩擦去除殘膠,因為電機是正反轉電機6,因此金剛是磨盤在其帶動下會進行正向和反向的轉動,可以防止殘膠堵塞金剛石磨盤4的孔隙,防止晶砣加工應力的增大,防止晶砣產生崩邊亮點等問題,通過冷卻水的冷卻可以防止晶砣的損壞,提高晶砣加工質量。
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