[實用新型]自動晶粒取放機(jī)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201120002764.6
• 申請日: 2011-01-06
• 公開（公告）號: CN201966190U
• 公開（公告）日: 2011-09-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 姚圳杰
• 申請（專利權(quán)）人: 益明精密科技有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/66
• 代理公司: 北京北新智誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11100
• 代理人: 胡福恒

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種自動晶粒取放機(jī)，更詳而言之，該自動晶粒取放機(jī)可應(yīng)用于待測試物件(晶?；驑?gòu)裝IC)的上線備料和已測試物件的分類。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)可區(qū)分為材料加工制造、晶圓的積體電路制造(wafer?fabrication)及晶圓切割、構(gòu)裝(wafer?package)等三大類制造流程。其中材料加工制造是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的上游工業(yè)，將硅晶石原料提煉硅多晶體(polycrystalline?silicon)，再將硅多晶體經(jīng)過切割、研磨加工制成晶圓。其次，晶圓的積體電路制造則為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的中游工業(yè)，包括將上述各種規(guī)格晶圓，經(jīng)由電路設(shè)計、光罩設(shè)計、蝕刻、擴(kuò)散等制程，生產(chǎn)各種用途的晶圓。而晶圓切割及構(gòu)裝為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的下游工業(yè)，將制造完成的晶圓，切割成片狀的晶粒，再經(jīng)焊接、電鍍、包裝及測試后即為半導(dǎo)體產(chǎn)品。

半導(dǎo)體產(chǎn)品的附加價值高、制造成本高，且產(chǎn)品的性能對于最終電子商品的功能有關(guān)鍵性的影響。因此，半導(dǎo)體在生產(chǎn)過程中的每個階段，均需透過層層的測試和檢驗程序來為品質(zhì)把關(guān)，并且依照測試結(jié)果為元件或產(chǎn)品進(jìn)行分類，作為等級評價的依據(jù)。在下游工業(yè)，待測產(chǎn)品的測試前的上線備程序，是由人工來完成的，將上游廠商送來的待測產(chǎn)品一顆顆的放在一個標(biāo)準(zhǔn)容器(俗稱tray盤)中，上線檢測時，也是由人工操作將一顆顆的待測產(chǎn)品從標(biāo)準(zhǔn)容器內(nèi)載入測試機(jī)的承載臺上。進(jìn)行測試之后，同樣以人工操作，將已測試產(chǎn)品從測試機(jī)上取回。這個取回步驟更進(jìn)一步涉及了產(chǎn)品分類(即俗稱的分bin)的功能，操作者依據(jù)測試機(jī)所提供的檢測結(jié)果(產(chǎn)品等級)，依照等級區(qū)分標(biāo)準(zhǔn)容器，以便將同等級的產(chǎn)品裝在同一標(biāo)準(zhǔn)容器中。

然而，涉及人工操作的首要問題包括：受限于人工操作的速度，以致上線檢測的時程無法有效的縮減，而人工分類更可能導(dǎo)致失誤率增加。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于解決先前技術(shù)中人工操作上線檢測程序和分類程序時所面臨的問題。

本實用新型的目的在于提供一種自動晶粒取放機(jī)，該取放機(jī)可將一標(biāo)準(zhǔn)容器中的待測產(chǎn)品以自動化批次方式載入一測試機(jī)中，從而解決上述人工操作上線檢測程序的問題。更進(jìn)一步的，本實用新型取放機(jī)可依據(jù)測試機(jī)所提供的檢測結(jié)果(產(chǎn)品等級)，將已測試產(chǎn)品自動批次化(或單顆)從測試機(jī)取回，并依分類放入對應(yīng)的分類盤中，從而解決上述人工分類失誤的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用以下技術(shù)方案：

一種自動晶粒取放機(jī)，它包含：

一機(jī)臺；

一架構(gòu)于該機(jī)臺上的Y軸驅(qū)動裝置；

一架構(gòu)于該Y軸驅(qū)動裝置的移動件上的X軸驅(qū)動裝置；

一架構(gòu)于該X軸驅(qū)動裝置的移動件上的物件取放裝置；以及

設(shè)于該機(jī)臺上的一標(biāo)準(zhǔn)容器置放區(qū)。

所述標(biāo)準(zhǔn)容器置放區(qū)供復(fù)數(shù)個標(biāo)準(zhǔn)容器排列設(shè)于所述機(jī)臺上。

所述復(fù)數(shù)個標(biāo)準(zhǔn)容器中，其中至少一個標(biāo)準(zhǔn)容器中放置待測試物件，其余的標(biāo)準(zhǔn)容器為放置已測試物件的分類盤。

所述物件取放裝置包括一固定于所述X軸驅(qū)動裝置的移動件的支架，以及連接于該支架的數(shù)個取放器；各該取放器各具一吸頭；一抽真空裝置以復(fù)數(shù)導(dǎo)管通連該取放器的吸頭。

一彈性元件安裝于所述取放器中，其彈性作用力作用于所述吸頭。

所述X軸驅(qū)動裝置及所述Y軸驅(qū)動裝置受一中央控制系統(tǒng)控制，該中央控制系統(tǒng)與一測試機(jī)耦合。

至少一待測試物件被所述物件取放裝置從放置待測物件的標(biāo)準(zhǔn)容器中載移至所述測試機(jī)的物件承載臺。

所述物件取放裝置依據(jù)所述測試機(jī)的測試結(jié)果，從所述測試機(jī)的物件承載臺上取回已測試物件放置于其中一個分類盤中。

本實用新型的有益效果是：

本實用新型的物件取放裝置可將一標(biāo)準(zhǔn)容器中的待測物件以自動化批次方式載入一測試機(jī)中，從而解決先前技術(shù)以人工操作上線檢測程序的問題。更進(jìn)一步的，本實用新型取放機(jī)可依據(jù)測試機(jī)所提供的檢測結(jié)果(產(chǎn)品等級)，將已測試產(chǎn)品自動批次化(或單顆)的從測試機(jī)取回，并依分類放入對應(yīng)的分類盤中，從而解決先前技術(shù)人因人工分類而致高失誤率的問題。

附圖說明

圖1為本實用新型相關(guān)機(jī)構(gòu)的配置方塊圖。

圖2為本實用新型的立體外觀圖。

圖3為本實用新型的Y軸驅(qū)動裝置的立體圖。

圖4為本實用新型的X軸驅(qū)動裝置的立體圖。

圖5為本實用新型機(jī)具的俯視平面圖。

圖6為本實用新型物件取放裝置的平面圖。

圖7為本實用新型吸取器的平面圖。

具體實施方式