[實用新型]供給箱

有效

• 申請號: 201120001044.8
• 申請日: 2011-01-04
• 公開（公告）號: CN201997441U
• 公開（公告）日: 2011-10-05
• 發明（設計）人: 徐濤
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方顯示技術有限公司
• 主分類號: B05C11/10
• 分類號: B05C11/10;B05C11/11;H01L21/00
• 代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

技術領域

本實用新型涉及半導體領域，尤其涉及一種供給箱。

背景技術

在彩色濾光片的生產過程中，會產生由于光阻劑涂布不均勻，光阻劑脫落，異物干擾等引起的光阻劑缺失不良。對于這些不良，通常采用光阻劑涂覆的方法進行修理。

目前，所述光阻劑采用如圖1所示的供給箱存儲，所述供給箱包括存儲室11和位于存儲室11底部的注射頭12，光阻劑通過導流管13存儲到存儲室11中，借由外力，光阻劑通過注射頭12注射到需要涂覆光阻劑的地方。然而，這種供給箱多為一次性使用裝置，且由于光阻劑自身的化學性質決定其不能長時間在常溫下保存，供給箱在使用6-8小時需要更換一次，由于更換頻繁，嚴重影響設備的稼動率。

實用新型內容

本實用新型的實施例提供一種供給箱，解決現有技術中由于光阻劑自身化學性質導致供給箱更換頻繁，嚴重影響設備的稼動率的問題。

為達到上述目的，本實用新型的實施例采用如下技術方案：

一種供給箱，包括冷藏室和解凍室，所述冷藏室的出口與所述解凍室的入口連接，所述解凍室設有輸出裝置，所述解凍室的輸出裝置用于導出解凍室內的液體。

為了更精確地導出解凍室內的液體，方便作業，進一步的，所述解凍室的輸出裝置為一個存儲室，所述存儲室的底部設有注射頭。

所述存儲室設有導流管。

所述解凍室的出口與所述存儲室的導流管的入口連接，所述解凍室的出口與所述導流管的入口之間設有第一開關裝置。

所述冷藏室的出口與所述解凍室的入口之間設有第二開關裝置。

進一步的，為了使得冷藏室中的液體定量的流入解凍室，所述冷藏室包括多個分體存儲管，所述每個分體存儲管的出口均與所述解凍室的入口連接，所述第二開關裝置包括與所述分體存儲管的出口相對應的子開關裝置。

進一步的，為了方便控制，所述供給箱還包括第一控制裝置，所述第一控制裝置根據輸入的信號來控制所述第一開關裝置。

進一步的，所述供給箱還包括第二控制裝置，所述第二控制裝置根據輸入的信號來控制所述第二開關裝置。

進一步的，為了更精確地控制第二開關裝置，所述第二控制裝置為冷藏室集成控制單元，所述冷藏室集成控制單元包括信號輸入端和信號輸出端，所述冷藏室集成控制單元的信號輸出端與所述第二開關裝置電性連接，所述第二開關裝置為電磁閥門，所述冷藏室集成控制單元根據所述解凍室中液體的存儲信息控制所述第二開關裝置。

進一步的，為了更精確地控制第一開關裝置，所述第一控制裝置為解凍室集成控制單元，所述第一開關裝置為電磁閥門，所述解凍室集成控制單元包括第一信號輸入端、第一信號輸出端，所述解凍室集成控制單元的第一信號輸出端與所述第一開關裝置電性連接，所述解凍室集成控制單元根據所述存儲室中液體的存儲信息控制所述第一開關裝置。

進一步的，所述解凍室集成控制單元還包括第二信號輸出端，所述第二信號輸出端用于輸出解凍室中液體的存儲信息。

進一步的，為了得到存儲室中液體的存儲信息，所述存儲室還包括第二液面感應器或者流量傳感器，所述解凍室集成控制單元的第一信號輸入端與第二液面感應器或者存儲室的流量傳感器電性連接。

進一步的，為了得到解凍室中液體的存儲信息，所述解凍室還包括第一液面感應器，所述冷藏室集成控制單元的信號輸入端與第一液面感應器或者解凍室集成控制單元的第二信號輸出端電性連接。

進一步的，為了在所述存儲室需要向外注射大量液體時，輔助所述解凍室快速解凍由所述冷藏室流入所述解凍室中的液體，所述供給箱還包括溫度調節器和溫度感應器，所述解凍室集成控制單元還包括第二信號輸入端和第三信號輸出端，所述解凍室還包括溫度感應器和溫度調節器，所述第二信號輸入端與溫度感應器電性連接，所述第三信號輸出端與溫度調節器電性連接，所述解凍室集成控制單元通過溫度調節器調節溫度。

本實用新型實施例提供的供給箱，由于包括冷藏室和解凍室，在不需要使用需要低于常溫保存的液體時，所述液體保存在冷藏室中；在需要使用所述液體時，首先將所述液體從所述冷藏室中取出并放入解凍室對所述液體進行解凍，解凍完成后將所述液體放入存儲室中等待注射，使得需要低于常溫保存的液體保存在低于常溫的狀態，采用即用即取的方式，解決了由于光阻劑自身化學性質導致供給箱更換頻繁，嚴重影響設備的稼動率的問題。

附圖說明

圖1為現有技術中供給箱的結構示意圖；

圖2a為本實用新型實施例提供的供給箱的結構示意圖一；

圖2b為本實用新型實施例提供的供給箱的結構示意圖二；