[發明專利]化學鍍催化劑和方法

有效

• 申請號: 201110462535.7
• 申請日: 2011-12-14
• 公開（公告）號: CN102534576A
• 公開（公告）日: 2012-07-04
• 發明（設計）人: M·A·熱茲尼科;劉鋒
• 申請（專利權）人: 羅門哈斯電子材料有限公司
• 主分類號: C23C18/20
• 分類號: C23C18/20;C23C18/30
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 郭輝

1.一種組合物，包括0.5至100ppm的零價金屬，穩定劑化合物和水；其中零價金屬選自鈀，銀，鈷，鎳，金，銅和釕；其中的穩定劑化合物具有化學式

其中R＝H或(C₁-C₆)烷基；R¹各自獨立地選自H，(C₁-C₆)烷基和Z；Z＝C₂-C₆)烯基-Z¹或(CR²R³)_aZ¹；R²和R³各自獨立地選自H，羥基，(C₁-C₆)烷基，羥基(C₁-C₆)烷基，C(O)-(C₁-C₆)烷基，(C₁-C₆)烷基-C(O)-(C₁-C₆)烷基，CO₂R⁴和NR⁵R⁶；R⁴＝H?，(C₁-C₆)烷基，羥基(C₁-C₆)烷基或(C₁-C₄)烷氧基(C₁-C₆)烷基；R⁵和R⁶各自獨立地選自H，(C₁-C₆)烷基和(CR²R³)_aZ²；Z¹＝C(S)SH，CO₂H，或C(O)NR⁵R⁶；Z²＝C(O)R⁴或CO₂R⁴；和a＝0-6；其中至少一個R¹是Z。

2.權利要求1的組合物，其中組合物的pH值為6-14。

3.權利要求2的組合物，其中pH值為7.5-14。

4.權利要求1的組合物，其中組合物在20℃儲存3個月無沉淀析出。

5.權利要求1的組合物，其中零價金屬和穩定劑化合物的摩爾比為1∶1至1∶20。

6.權利要求1的組合物，其中Z¹＝CO₂H。

7.一種方法，包括：

(a)提供具有多個通孔的基底；

(b)將權利要求1的組合物施加到通孔表面上；然后

(c)將金屬化學鍍到通孔表面上。

8.權利要求7的方法，還包括將第二種金屬化學鍍在步驟(c)化學鍍的金屬之上的步驟。

9.權利要求7的方法，還包括在步驟(b)之前，使通孔表面與氧化劑接觸的步驟。

10.一種權利要求1的組合物的制備方法，包括將穩定劑化合物，水和水溶性金屬鹽混合，然后加入足夠形成零價金屬的量的還原劑。