[發明專利]增強的傳感器管芯粘接無效
| 申請號： | 201110462302.7 | 申請日： | 2011-12-10 |
| 公開（公告）號： | CN102539060A | 公開（公告）日： | 2012-07-04 |
| 發明（設計）人： | A·D·布拉德利;L·F·里克斯;R·A·戴維斯 | 申請（專利權）人： | 霍尼韋爾國際公司 |
| 主分類號： | G01L15/00 | 分類號： | G01L15/00 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 原紹輝 |
| 地址： | 美國新*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 增強 傳感器 管芯 | ||
1.一種壓力傳感器組件(10)，包括：
壓力傳感器管芯(18)，包括：
前側；
背側；
壓力感測隔膜(26)；以及
形成在所述壓力傳感器管芯(18)的背側中的一個或多個粘接特征(42)，其中，所述一個或多個粘接特征(42)增加了所述背側的表面面積；
具有頂側和底側的襯底(12)，所述襯底(12)限定壓力開口(24)，其中，所述壓力傳感器管芯(18)安裝在所述壓力開口(24)上方，使得所述壓力感測隔膜(26)與所述壓力開口(24)流體連通；以及
粘接劑(32)，用于將所述壓力傳感器管芯(18)的背側安裝到所述襯底(12)的頂側，其中，所述粘接劑(32)至少部分地填充形成在所述壓力傳感器管芯(18)的背側中的所述一個或多個粘接特征(42)。
2.根據權利要求1所述的壓力傳感器組件(10)，其中，所述壓力傳感器管芯(18)包括耦合到所述壓力感測隔膜(26)的一個或多個壓敏電阻器，用于感測所述壓力感測隔膜(26)中的由壓力產生的應力。
3.根據權利要求1所述的壓力傳感器組件(10)，其中，所述一個或多個粘接特征(42)包括形成在所述壓力傳感器管芯(18)的背側中的一個或多個凹陷。
4.根據權利要求3所述的壓力傳感器組件(10)，其中，所述一個或多個凹陷沿著所述壓力傳感器管芯(18)的背側的外圍形成。
5.根據權利要求4所述的壓力傳感器組件(10)，其中，沿著所述壓力傳感器管芯(18)的背側的外圍形成的所述一個或多個凹陷構造成延伸通過所述壓力傳感器管芯(18)的側表面。
6.根據權利要求5所述的壓力傳感器組件(10)，其中，所述粘接劑(32)定位為覆蓋延伸通過所述壓力傳感器管芯(18)的側表面的所述一個或多個凹陷。
7.根據權利要求3所述的壓力傳感器組件(10)，其中，所述一個或多個凹陷為大體V形凹陷。
8.根據權利要求3所述的壓力傳感器組件(10)，其中，所述一個或多個凹陷為大體矩形凹陷。
9.根據權利要求1所述的壓力傳感器組件(10)，其中，所述一個或多個粘接特征(42)構造成限定所述壓力傳感器管芯(18)和所述粘接劑(32)之間的非平面界面。
10.根據權利要求1所述的壓力傳感器組件(10)，其中，所述背側的一個或多個角部(47)沒有所述一個或多個粘接特征(42)。
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