[發明專利]使用兩個獨立線網的切片線鋸、線鋸裝置及其工作方法的新概念

無效

• 申請號: 201110462150.0
• 申請日: 2011-12-22
• 公開（公告）號: CN103085182A
• 公開（公告）日: 2013-05-08
• 發明（設計）人: 弗蘭克·基諾賽奧;安德烈亞斯·施密特
• 申請（專利權）人: 應用材料瑞士有限責任公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04;B28D7/02
• 代理公司: 北京東方億思知識產權代理有限責任公司 11258
• 代理人: 柳春雷

技術領域

本發明的實施例涉及線鋸裝置以及用于操作線鋸裝置的方法。更具體地，它們涉及具有改善的高等級特性并且用于對硬材料(諸如硅或石英的塊)進行切割或鋸切的線鋸裝置，例如，用于切割硅晶片，用于平方體(squarer)、用于裁剪器等。

背景技術

存在一種線鋸裝置，其用于從一件硬的或脆的材料(諸如硅)切割出方塊或磚塊、薄的切片(例如半導體晶片)。在這種裝置中，繃緊的線被從線軸饋送出來并且由用于在切割區域中對線進行引導的滑輪引導和張緊。用于進行鋸切的線主要設置有研磨劑材料。作為一種選擇，可以作為漿料提供研磨劑材料。這可以在線與被切割的材料接觸之前的短期內實現。因此，通過用于對材料進行切割的線來將研磨劑承載到切割位置。作為另一種選擇，研磨劑可以被設置在具有涂層的線上。例如，金剛石顆粒可以被設置在例如具有涂層的金屬線上，其中，金剛石顆粒被鑲嵌在線的涂層中。由此，將研磨劑牢固地與線連接。

一般而言，線鋸裝置的產量已經處于極為先進的水平。然而，特別是考慮到期望在對于光電(PV)應用具有高生產率下的高產量時，期望進一步進行改善。

由此，已經考慮了用于鋸切PV晶片等的線被張緊并且以非常高的速度移動。線在提供了線管理和/或線張緊的一個或多個滾輪上從線軸饋送出來或者被饋送到線軸。滾輪例如可以使線改變方向。例如在滾輪的慣性可能妨礙立即停止滾輪的緊急停止期間，滾輪的存在可以導致更高的線斷裂的可能性。線斷裂可能導致裝載物(即，在線鋸裝置中一時處理的工件)的完全損失。

對于千兆瓦廠房的切晶片PV能力要求以及減小PV模塊的$/Watt值的持續期望要求更大的制造能力。在過去的廠房中已經通過提供多個用于對PV晶片進行切晶片的線鋸裝置來實現了制造大量晶片。然而，維護以及線斷裂仍然限制了生產率和產能，并且仍有待改善。

多線漿料鋸現在是用于PV應用的晶片制造的標準的并且最多產的工具。通常期望獨立的工具。工具具有五個功能組：切片頭、漿料管理、線管理、冷卻組以及電箱/控制單元。需要改變該聚合體來對于制造PV晶片實現高生產率下的高產量。

發明內容

考慮到以上內容，提供了根據獨立權利要求1的用于對工件進行鋸切的線鋸裝置，以及根據獨立權利要求12的操作線鋸裝置的方法。通過權利要求、說明書和附圖，本發明的其他方面、優點和特征將會變得清楚。

根據一個實施例，提供了一種用于對工件進行鋸切的線鋸裝置。該線鋸裝置包括：用于支撐殼體的主框架，其中，所述殼體包括第一殼體部分和與所述第一殼體部分分離的第二殼體部分；以及第一線引導組件，其具有至少兩個第一線引導筒，所述至少兩個第一線引導筒用于引導第一線，以形成具有至少一個第一工作區域的至少一個第一線網，其中，所述第一線引導組件被容納在所述第一殼體部分中；第二線引導組件，其具有至少兩個第二線引導筒，所述至少兩個第二線引導筒用于引導第二線，以形成具有至少一個第二工作區域的至少一個第二線網，其中，所述第二線引導組件被容納在所述第二殼體部分中；用于引導所述第一線的第一線管理單元；以及用于引導所述第二線的第二線管理單元

根據一個實施例，提供了一種用于對工件進行鋸切的線鋸裝置。該線鋸裝置包括：用于支撐殼體的主框架，其中，所述殼體包括第一殼體部分和與所述第一殼體部分分離的第二殼體部分；以及第一線引導組件，其具有至少兩個第一線引導筒，所述至少兩個第一線引導筒用于引導第一線，以形成具有至少一個第一工作區域的至少一個第一線網，其中，所述第一線引導組件被設置在所述第一殼體部分中；第二線引導組件，其具有至少兩個第二線引導筒，所述至少兩個第二線引導筒用于引導第二線，以形成具有至少一個第二工作區域的至少一個第二線網，其中，所述第二線引導組件被設置在所述第二殼體部分中其中，第一殼體部分和第二殼體部分適合于維持第一和第二線引導組件彼此獨立；用于引導第一線的第一線管理單元；以及用于引導第二線的第二線管理單元。

根據一個實施例，提供了一種操作線鋸裝置的方法。該方法包括以下步驟：操作第一線引導組件，所述第一線引導組件具有至少兩個第一線引導筒，所述至少兩個第一線引導筒用于引導第一線)，以在殼體的第一部分中形成具有至少一個第一工作區域的至少一個第一線網；操作第二線引導組件，所述第二線引導組件具有至少兩個第二線引導筒，所述至少兩個第二線引導筒用于引導第二線，以在所述殼體的第二部分中形成具有至少一個第二工作區域的至少一個第二線網，所述殼體的第二部分與所述殼體的第一部分相獨立。