[發明專利]一種光譜分析儀和光譜分析方法有效
| 申請號： | 201110461548.2 | 申請日： | 2011-12-29 |
| 公開（公告）號： | CN102564591A | 公開（公告）日： | 2012-07-11 |
| 發明（設計）人： | 俞曉峰;顧海濤;呂全超;李萍;俞大海;王健 | 申請（專利權）人： | 聚光科技(杭州)股份有限公司 |
| 主分類號： | G01J3/28 | 分類號： | G01J3/28 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 310052 浙*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 光譜分析 方法 | ||
1.一種光譜分析儀，包括：
光源，所述光源發出測量光；
光采集單元，所述光采集單元將測量光耦合至分光單元；
分光單元，所述分光單元包括第一分光模塊和第二分光模塊，測量光經所述第一分光模塊X方向分光后被所述第二分光模塊進行相同方向的分光；
成像單元和探測單元，所述測量光經過所述第二分光模塊分光后再被成像單元成像后被探測單元接收；
處理單元，所述處理單元處理探測單元接收到的信號，得到窄波段對應的譜圖。
2.根據權利要求1所述的光譜分析儀，其特征在于：所述第一分光模塊對測量光還進行Y方向的分光，X方向與Y方向不平行。
3.根據權利要求2所述的光譜分析儀，其特征在于：所述X方向和Y方向相互垂直。
4.根據權利要求2所述的光譜分析儀，其特征在于：所述第一分光模塊包括第一棱鏡和第一光柵，所述第一光柵對測量光進行X方向的分光。
5.根據權利要求4所述的光譜分析儀，其特征在于：所述第一光柵為中階梯光柵。
6.根據權利要求1所述的光譜分析儀，其特征在于：所述第二分光模塊為反射或透射的中階梯光柵或平面光柵或凹面光柵。
7.根據權利要求1所述的光譜分析儀，其特征在于：
所述成像單元包括第一成像模塊和第二成像模塊，所述探測單元包括第一探測器和第二探測器；
測量光經所述第一分光模塊分光后，一部分經第一成像模塊成像后被第一探測器接收，一部分進一步被第二分光模塊分光、再經第二成像模塊成像后被第二探測器接收；所述處理單元處理第一探測器和第二探測器接收到的信號，分別得到寬波段和窄波段對應的譜圖。
8.根據權利要求7所述的光譜分析儀，其特征在于：所述第二分光模塊設置在第二成像模塊上。
9.根據權利要求7所述的光譜分析儀，其特征在于：所述第一探測器與第二探測器為同一探測器。
10.一種光譜分析方法，包括以下步驟：
A、提供了權利要求1～9任一所述的光譜分析儀；
B、光源發出的測量光經所述第一分光模塊分光后，進一步被所述第二分光模塊分光，經成像單元成像后被探測單元接收，處理單元處理所述探測單元接收的信號，得到窄波段對應的譜圖。
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