[發(fā)明專利]使用硬掩模的濾色器圖案化

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110461303.X
• 申請(qǐng)日: 2011-12-30
• 公開（公告）號(hào): CN102916019A
• 公開（公告）日: 2013-02-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳剛;毛杜利;戴幸志;霍華德·E·羅茲
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 全視科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L27/146
• 分類號(hào): H01L27/146
• 代理公司: 北京律盟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11287
• 代理人: 沈錦華

1.一種設(shè)備，其包含：

濾色器布置，其包括一組濾色器，所述組濾色器包含：

一對(duì)第一濾色器，其每一者上面形成有第一及第二硬掩模層，

第二濾色器，其上面形成有所述第一硬掩模層，及

第三濾色器，其上面不形成硬掩模層。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中所述第一濾色器為綠色的，所述第二濾色器為藍(lán)色的，且所述第三濾色器為紅色的。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的設(shè)備，其中所述組濾色器布置成貝爾圖案。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中所述組濾色器經(jīng)平面化。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的設(shè)備，其中所述第三濾色器與所述第一及第二硬掩模形成平面。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其進(jìn)一步包含夾于所述襯底與所述組濾色器之間的平面化層。

7.一種方法，其包含：

在襯底的表面上方沉積第一濾色器層，所述襯底中形成有像素陣列；

在所述第一濾色器層上方沉積第一硬掩模；

圖案化并蝕刻所述第一硬掩模及所述第一濾色器層以形成第一開口；

在所述第一開口中沉積第二濾色器層；

在所述第一濾色器層、所述第二濾色器層及所述第一硬掩模上方沉積第二硬掩模；

圖案化并蝕刻所述第一硬掩模、所述第二硬掩模及所述第一濾色器層以形成第二開口；及

在所述第二開口中沉積第三濾色器層。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其進(jìn)一步包含平面化所述第二硬掩模及所述第三濾色器層。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其中所述第一濾色器層為綠色的，所述第二濾色器層為藍(lán)色的，且所述第三濾色器層為紅色的。

10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其進(jìn)一步包含在沉積所述濾色器層之前在所述襯底上沉積平面化層，以便在所述平面化層上沉積所述濾色器層。

11.一種設(shè)備，其包含：

襯底，其具有前側(cè)及后側(cè)；

圖像傳感器，其包括形成于所述襯底的所述前側(cè)中或所述前側(cè)上的像素陣列；

濾色器布置，其形成于所述像素陣列的對(duì)應(yīng)數(shù)目個(gè)像素上方，所述濾色器布置包括一組濾色器，所述組濾色器包含：

一對(duì)第一濾色器，其每一者上面形成有第一及第二硬掩模層，

第二濾色器，其上面形成有所述第一硬掩模層，及

第三濾色器，其上面不形成硬掩模層。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的設(shè)備，其中所述第一濾色器為綠色的，所述第二濾色器為藍(lán)色的，且所述第三濾色器為紅色的。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的設(shè)備，其中所述組濾色器布置成貝爾圖案。

14.根據(jù)權(quán)利要求11所述的設(shè)備，其中所述第三濾色器與所述第一及第二硬掩模形成平面。

15.根據(jù)權(quán)利要求11所述的設(shè)備，其進(jìn)一步包含夾于所述襯底與所述濾色器布置之間的平面化層。

16.根據(jù)權(quán)利要求11所述的設(shè)備，其中所述濾色器布置形成于所述襯底的所述前側(cè)上。

17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的設(shè)備，其進(jìn)一步包含光學(xué)耦合到所述濾色器布置的一個(gè)或一個(gè)以上微透鏡。

18.根據(jù)權(quán)利要求11所述的設(shè)備，其中所述濾色器布置形成于所述襯底的所述后側(cè)上。

19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的設(shè)備，其進(jìn)一步包含光學(xué)耦合到所述濾色器布置的一個(gè)或一個(gè)以上微透鏡。