[發明專利]真空系統用的真空插板閥

無效

• 申請號: 201110461058.2
• 申請日: 2011-12-31
• 公開（公告）號: CN102563109A
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發明（設計）人: 朱剛勁;朱剛毅;朱文廓
• 申請（專利權）人: 肇慶市騰勝真空技術工程有限公司
• 主分類號: F16K3/12
• 分類號: F16K3/12;F16K3/30;F16K51/02
• 代理公司: 廣州市華學知識產權代理有限公司 44245
• 代理人: 裘暉

技術領域

本發明涉及玻璃真空鍍膜技術領域，特別涉及一種真空系統用的真空插板閥。

背景技術

用于玻璃鍍膜工藝的真空設備中，真空插板閥是任意兩個相鄰真空室之間必不可少的組成部件，其作用是：當需要對單個真空室進行維護或者在單個真空室內更換材料時，將相鄰兩個真空室隔絕，使真空室內的真空氣氛不被破壞。目前常用的真空插板閥為翻板式結構，即在真空室內的工件通孔處設置真空插板閥，該真空插板閥主要為一個擋板，擋板頂部與真空室內的頂面鉸接，當真空插板閥關閉時，擋板下翻，其側面擋住工件通孔而實現密封，當真空插板閥打開時，擋板貼緊于真空室內的頂面。然而，該結構的真空插板閥由于擋板采用翻轉式，所占的空間較大，真空插板閥關閉時由于擋板靠自重擋住工件通孔，擋板底部沒有相應的固定機構，其密封效果不好；另外，該結構的真空插板閥必須設于真空室內部，其加工難度大，擋板易變形，日常的維護也相當困難。

為此，申請號為200610169213.2的發明申請公開了一種擺閥和滑門真空閥，該結構的真空閥克服了傳統真空插板閥氣密性差的缺陷，但其結構復雜，各組成部件之間精度要求較高，因此其成本也較高。

發明內容

本發明的目的在于克服現有技術的不足，針對工件通孔口徑較小的真空室，提供一種密封性好、所占空間小、加工和日常維護都較方便的真空系統用的真空插板閥。

本發明的技術方案為：一種真空系統用的真空插板閥，包括驅動元件、閥體、閥芯和下清潔蓋板，閥體為中空的長方體結構，閥體的左右兩側壁分別與位于其兩側的真空室固定連接，閥體的左右兩側壁上分別開有閥體通孔，閥體通孔與位于閥體兩側的真空室內的工件通孔相通，閥芯設于閥體內部，驅動元件末端穿過閥體頂部并與閥芯頂部固定連接，下清潔蓋板設于閥體底部。

所述驅動元件與閥體頂部相接處設有密封件，可有效提高驅動元件運行的可靠性和閥體內部的密封性。

根據實際需要，閥芯及閥體中部空間的結構形式主要有2種：

(1)所述閥芯為四棱柱結構，閥芯的徑向截面為第一梯形，閥芯位于第一梯形長底邊的側面為第一側面，閥芯位于第一梯形短底邊的側面為第二側面，閥芯位于第一梯形兩側腰上的兩側面分別為第三側面和第四側面，第一側面向上并與驅動元件末端固定連接，第二側面向下，第三側面和第四側面分別位于左右兩側；

閥體中部空間的徑向截面為長方形和第二梯形組成的六邊形，長方形位于上部，第二梯形位于下部，第二梯形各邊尺寸與第一梯形各邊尺寸相同；

閥芯下落至底部時，閥芯的第三側面和第四側面分別貼緊于閥體的內側面；

閥體的底部開有閥底通孔，閥底通孔的寬度與第一梯形短底邊的長度相等；

下清潔蓋板設于閥底通孔下方。

所述閥芯的第三側面和第四側面上還分別開有設置密封圈用的密封槽，在閥芯和閥體之間增設密封圈，可更好地提高其密封效果。

(2)所述閥芯為三棱柱結構，三棱柱的徑向截面為倒三角形，閥芯頂面與驅動元件末端固定連接；

閥芯下落至底部時，閥芯的兩側面分別貼緊于閥體的內側面；

閥體的底部開有閥底通孔，下清潔蓋板設于閥底通孔下方。

所述閥芯的兩側面上還分別開有設置密封圈用的密封槽，在閥芯和閥體之間增設密封圈，可更好地提高其密封效果。

所述驅動元件為驅動元件、電機或液壓傳動件。

本真空系統用的真空插板閥使用時，其原理是：當需要關閉真空插板閥時，驅動元件運行，其末端帶動閥芯在閥體中部空間內向下運動，閥芯下落至底部時，閥芯的左右兩側面貼緊于閥體的內側面，此時將閥體左右兩側壁上的閥體通孔隔開，從而擋住閥體左右兩側真空室上的工件通孔，達到密封的目的；當需要打開真空閥插板時，驅動元件運行，其末端帶動閥芯在閥體中部空間內向上運動，閥芯上升到其末端高于閥體通孔所處的位置即可。

本發明相對于現有技術，具有以下有益效果：

本真空系統用的真空插板閥采用驅動元件帶動閥芯上下運動實現其啟閉，可有效克服傳統真空插板閥占用空間大的缺陷。同時，本真空插板閥關閉后，由于閥芯下部為錐形或接近錐形的結構，所以閥芯下落后可貼緊于閥體的內側壁，其密封效果好，閥芯結構也較為穩固，不易變形。

本真空系統用的真空插板閥設于相鄰兩個真空室之間，即設于真空室外部，其加工及日常維護都較為方便。

另外，本真空系統用的真空插板閥還具有以下優點：結構簡單、加工制造容易，可靠性比翻板閥大為提高；同時，密封效果更好，也更加耐用，維護間隔時間長。

附圖說明

圖1為本真空插板閥的結構示意圖。