[發明專利]硅片切割廢砂漿中碳化硅和聚乙二醇切割液的回收方法有效
| 申請號： | 201110460682.0 | 申請日： | 2011-12-31 |
| 公開（公告）號： | CN103183349A | 公開（公告）日： | 2013-07-03 |
| 發明（設計）人： | 楊長劍;莘雙銀;周君;支田田 | 申請（專利權）人： | 浙江昱輝陽光能源有限公司 |
| 主分類號： | C01B31/36 | 分類號： | C01B31/36;C10M175/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 逯長明 |
| 地址： | 314117 浙*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 硅片 切割 砂漿 碳化硅 聚乙二醇 回收 方法 | ||
1.一種硅片切割廢砂漿中碳化硅和聚乙二醇切割液的回收方法，包括以下步驟：
將硅片切割廢砂漿與水混合后進行第一級固液分離，得到第一級懸浮液和第一級固體顆粒；
將所述第一級固體顆粒經水稀釋后進行第二級固液分離，得到第二級懸浮液和第二級固體顆粒；
將所述第二級懸浮液回用于混合所述硅片切割廢砂漿，將所述第二級固體顆粒經第一級水洗后進行第三級離心分離，得到第三級離心液和第三級離心固體顆粒；
將所述第三級離心液回用于稀釋所述第一級固體顆粒，將所述第三級離心固體顆粒經第二級水洗后進行第四級離心分離，得到第四級離心液和第四級離心固體顆粒；
將所述第四級離心液回用于所述第一級水洗，將所述第四級離心固體顆粒經干燥、篩選后得到碳化硅；
將所述第一級懸浮液進行過濾、脫色和樹脂交換后，依次進行減壓蒸餾和薄膜蒸發，得到聚乙二醇切割液、減壓蒸餾水和薄膜蒸發水，所述減壓蒸餾水用于所述第二級水洗，所述薄膜蒸發水用于所述第一級水洗。
2.根據權利要求1所述的回收方法，其特征在于，將所述第一級固體顆粒經水稀釋時，所述水的溫度為60℃～70℃，所述稀釋的時間在30min以上；
所述第一級水洗的溫度為65℃～75℃，所述第一級水洗的時間在30min以上；
所述第二級水洗的溫度為70℃～80℃，所述第二級水洗的時間在30min以上。
3.根據權利要求1或2所述的回收方法，其特征在于，所述第三級離心分離的轉速為2000r/min～4000r/min，所述第三級離心分離的時間為30min～40min；
所述第四級離心分離的轉速為2000r/min～4000r/min，所述第四級離心分離的時間為30min～40min。
4.根據權利要求1或2所述的回收方法，其特征在于，所述回收方法還包括：
將所述第四級離心固體顆粒經第三級水洗后進行第五級離心分離，得到第五級離心液和第五級離心固體顆粒，將所述第五級離心液回用于所述第二級水洗，
所述減壓蒸餾水用于所述第三級水洗。
5.根據權利要求4所述的回收方法，其特征在于，所述第三級水洗的溫度為75℃～85℃，所述第三級水洗的時間在30min以上。
6.根據權利要求4所述的回收方法，其特征在于，所述第五級離心分離的轉速為2000r/min～4000r/min，所述第五級離心分離的時間為30min～40min。
7.根據權利要求1或2所述的回收方法，其特征在于，所述減壓蒸餾的壓力為0.1MPa～1MPa，所述減壓蒸餾的時間為60min～120min；
所述薄膜蒸發的壓力為0.4MPa～0.6MPa。
8.根據權利要求1所述的回收方法，其特征在于，所述干燥為閃蒸干燥。
9.根據權利要求1所述的回收方法，其特征在于，將硅片切割廢砂漿與水混合后，在進行第一級固液分離前，還包括磁力吸附。
10.根據權利要求1所述的回收方法，其特征在于，所述第一級固液分離為第一級旋流分離或第一級離心分離；
所述第二級固液分離為第二級旋流分離或第二級離心分離。
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