[發(fā)明專利]氮化硅坩堝涂層及其制備方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201110460459.6 | 申請日： | 2011-12-31 |
| 公開（公告）號： | CN103183478A | 公開（公告）日： | 2013-07-03 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 盧建華;彭春球;劉文濤 | 申請（專利權(quán)）人： | 浙江昱輝陽光能源有限公司 |
| 主分類號： | C03C17/22 | 分類號： | C03C17/22 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227 | 代理人： | 逯長明 |
| 地址： | 314117 浙*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 氮化 坩堝 涂層 及其 制備 方法 | ||
1.一種氮化硅坩堝涂層的制備方法，包括如下步驟：
向去離子水中加入粘接劑、分散劑和氮化硅，混合均勻得到漿料；所述氮化硅、粘結(jié)劑和分散劑的重量比為100∶(15～28)∶(5～12)，所述氮化硅和去離子水的重量比為1∶(3～4)；所述粘結(jié)劑為有機(jī)硅烷、硅酸、多元醇、聚乙烯醇和丙烯酸酯中的一種；
將所述漿料噴涂或浸涂于坩堝內(nèi)表面，在260℃～550℃于惰性氣體氛圍中進(jìn)行煅燒和退火。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述混合的方式為超聲波攪拌。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述有機(jī)硅烷為四乙氧基硅烷。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述分散劑為甲基纖維素、羥甲基纖維素、乙基纖維素、羥乙基纖維素、丙基纖維素、2-羥丙基纖維素、2-羥乙基甲基纖維素、2-羥乙基乙基纖維素、2-羥丙基甲基纖維素、2-羥丁基甲基纖維素、乙酸纖維素、乙酸鄰苯二甲酸纖維素、羧甲基纖維素和聚環(huán)氧乙烷中的一種或幾種。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的制備方法，其特征在于，所述分散劑為甲基纖維素。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述惰性氣體為氬氣。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述煅燒溫度為300℃～500℃。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述氮化硅的粒徑為1μm～5μm。
9.一種氮化硅坩堝涂層，其特征在于，含氧量為1wt％～5wt％。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于浙江昱輝陽光能源有限公司，未經(jīng)浙江昱輝陽光能源有限公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201110460459.6/1.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 導(dǎo)電化合物上的大晶粒低電阻率鎢
- 基于六方氮化硼和磁控濺射氮化鋁的氮化鎵生長方法
- 一種氮化鋁復(fù)合緩沖層及制備方法及氮化鎵基半導(dǎo)體器件
- 鎵解理面III族/氮化物磊晶結(jié)構(gòu)及其主動元件與其制作方法
- 一種氮化鋁復(fù)合緩沖層及氮化鎵基半導(dǎo)體器件
- 連續(xù)氮化處理爐和連續(xù)氮化處理方法
- 一種氮化雙向供氣裝置以及氮化雙向供氣系統(tǒng)
- 一種氮化雙向供氣裝置以及氮化雙向供氣系統(tǒng)
- 鎵解理面III族/氮化物磊晶結(jié)構(gòu)及其主動元件與其制作方法
- 鎵解理面III族/氮化物磊晶結(jié)構(gòu)及其主動元件與其制作方法
