[發(fā)明專利]太陽能電池刻蝕方法及其設(shè)備有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201110459607.2 | 申請日： | 2011-12-31 |
| 公開（公告）號： | CN102544211A | 公開（公告）日： | 2012-07-04 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 祁宏山;肖新民 | 申請（專利權(quán)）人： | 常州天合光能有限公司 |
| 主分類號： | H01L31/18 | 分類號： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 常州市維益專利事務(wù)所 32211 | 代理人： | 王凌霄 |
| 地址： | 213031 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 太陽能電池 刻蝕 方法 及其 設(shè)備 | ||
1.一種太陽能電池刻蝕方法，其特征在于：首先電池片(1)擴(kuò)散后進(jìn)行整體濕法拋光，然后通過傳輸滾輪(2)將刻蝕液帶到電池片(1)背面的擴(kuò)散面及電池片(1)前進(jìn)方向后端邊緣，實現(xiàn)電池片(1)背面及一側(cè)邊緣的刻蝕，而后將電池片(1)依次進(jìn)行三次旋轉(zhuǎn)方向，在向前傳輸?shù)倪^程中完成其他三個邊緣的刻蝕。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池刻蝕方法，其特征在于：所述的電池片(1)的旋轉(zhuǎn)順序是：首先電池片(1)被旋轉(zhuǎn)180度，在繼續(xù)向前傳輸過程中進(jìn)行背面和已刻邊對邊的刻蝕，然后被旋轉(zhuǎn)90度，在繼續(xù)向前傳輸過程中進(jìn)行背面和前一邊的鄰邊的刻蝕，最后被旋轉(zhuǎn)180度，在繼續(xù)向前傳輸過程中進(jìn)行背面和最后一邊的刻蝕。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池刻蝕方法，其特征在于：所述的電池片(1)濕法拋光液是濃度為10％的HF酸液。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池刻蝕方法，其特征在于：所述的刻蝕液為HF和HNO3混合液。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池刻蝕設(shè)備，其特征在于：包括傳輸滾輪(2)和方向轉(zhuǎn)動裝置(4)，所述的傳輸滾輪(2)表面刻有對刻蝕液具有毛細(xì)作用的特細(xì)環(huán)形槽，傳輸滾輪(2)通過蘸液的方式將刻蝕液帶到電池片(1)背面的擴(kuò)散面及電池片(1)前進(jìn)方向后端邊緣，多個傳輸滾輪為一組，方向轉(zhuǎn)動裝置設(shè)置在相鄰的兩組傳輸滾輪之間。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的太陽能電池刻蝕設(shè)備，其特征在于：所述的傳輸滾輪(2)有一半體積浸入在刻蝕液中。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射，或微粒輻射敏感的，并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的，或者專門適用于通過這樣的輻射進(jìn)行電能控制的半導(dǎo)體器件；專門適用于制造或處理這些半導(dǎo)體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導(dǎo)體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉(zhuǎn)換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的，例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內(nèi)或其上形成的，一個或多個電光源，如場致發(fā)光光源在結(jié)構(gòu)上相連的，并與其電光源在電氣上或光學(xué)上相耦合的
