[發明專利]等離子顯示屏障壁及其制備方法以及等離子顯示屏

無效

• 申請號: 201110459354.9
• 申請日: 2011-12-31
• 公開（公告）號: CN103794433A
• 公開（公告）日: 2014-05-14
• 發明（設計）人: 呂旭東;宋利建
• 申請（專利權）人: 四川虹歐顯示器件有限公司
• 主分類號: H01J9/24
• 分類號: H01J9/24;H01J11/36;H01J11/10
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 吳貴明;余剛

技術領域

本發明涉及等離子顯示屏制備領域，具體而言涉及一種等離子顯示屏障壁及其制備方法以及等離子顯示屏。

背景技術

彩色等離子顯示器(Plasma?Display?Panel，簡稱PDP)，是利用氣體放電產生真空紫外光(VUV)，該紫外光又激發三原色熒光粉而產生紅綠藍三基色光，然后經過空間和時間的調試實現了圖像顯示。AC表面放電型等離子顯示屏，分為前后基板。前基板包括透明電極ITO，以及在透明電極ITO層上交替排列的維持放電電極X電極和掃描放電電極Y電極，在X、Y電極上覆蓋有一定厚度的介質層，再于介質層上沉積一層MgO薄膜；后基板包括在玻璃基板上的尋址電極、覆蓋該電極的介質層以及介質層上具有一定高度的障壁，障壁將放電空間隔離開并在其中涂敷藍、綠、紅三色熒光粉。隨后將前、后玻璃基板封結在一起充入氣體。經過Y電極和ADD尋址電極之間微弱放電產生壁電荷，通電時X、Y電極之間會產生放電，產生的紫外光會激發障壁槽內的三原色熒光粉發出可見光。

PDP顯示屏由前、后基板及制作在基板上的電極、障壁、介質、熒光粉等功能器件組成。障壁制作一直是PDP制程中的瓶頸，特別是隨著PDP分辨率的提高，PDP障壁制作精度要求越來越高。傳統的等離子顯示屏障壁的制備方法是利用噴砂法，介質漿料被涂在玻璃基板上，形成介質層，然后印刷障壁漿料從而形成障壁層，涂敷均勻并干燥。最后障壁層被DFR(dry?film?resist)覆蓋，DFR能抵抗噴砂刻蝕。在利用模板、DFR、障壁材料層被選擇性的曝光，曝光后的DFR具有化學穩定性，顯影后形成障壁掩膜，并能耐砂粒噴蝕。然后通過氣流將砂粒噴到障壁層上，有DFR的障壁材料層被保留下來，形成障壁，其余的障壁材料層都被噴掉。噴砂后，障壁掩膜被揭掉(剝膜)，并進行燒結，從而形成障壁。

目前，障壁噴砂用DFR膜一般比較厚，干膜在40～60μm，顯影時溶脹的DFR膜厚度將達到50～80μm，這樣顯影后的DFR膜在精細加工過程中，側壁的陡峭十分重要，顯影條件十分苛刻。現有方法所制備的障壁加工精度低、加工缺陷多。需要進一步改進。

發明內容

本發明旨在提供一種等離子顯示屏障壁及其制備方法以及等離子顯示屏，以提高等離子顯示屏障壁的加工精度，減少加工缺陷。

在本發明的一個方面，提供了一種等離子顯示屏障壁的制備方法，包括以下步驟：首先在玻璃基板上用絲網印刷法或涂敷法形成障壁材料層；在障壁材料層上貼覆DFR膜，對DFR膜曝光、使用Na₂CO₃溶液顯影，刻蝕形成條形或井字形障壁掩膜，每一個障壁掩膜都對應一個障壁；使用CaC₁₂溶液處理障壁掩膜的側端面，以中和側端面上殘留的Na2CO3溶液；最后通過噴沙法將砂粒噴射在障壁材料層上，形成障壁。

優選地，上述顯影處理的過程中將液溫為25～35℃，濃度為0.3～0.5wt％的Na₂CO₃溶液噴淋在曝光后的DFR膜上，使其顯影。

優選地，上述使用CaCl₂溶液處理障壁掩膜的側端面過程中將液溫為25～35℃，濃度為5～25wt％的CaCl₂溶液噴淋在端面上，使其與側端面上的Na₂CO₃溶液進行中和反應。

優選地，上述使用CaCl₂溶液處理后障壁掩膜的側端面呈向內凹陷的形狀。

在本發明中提供了一種等離子顯示屏障壁，由上述的方法制備而成。

在本發明中提供了一種等離子顯示屏，包括上述的障壁。

本發明所提供的等離子顯示屏障壁的制備方法，通過采用引入氯化鈣溶液中和障壁掩膜側端面上殘留的碳酸鈉溶液，降低了殘留碳酸鈉溶液側向侵入的效果，增強了障壁掩膜的強度，特別是那些斷面比較粗糙部分的強度，提高障壁掩膜側壁的陡峭，提高障壁加工精度，減少障壁加工缺陷，提高顯示屏的顯示質量。

附圖說明

說明書附圖用來提供對本發明的進一步理解，構成本發明的一部分，本發明的示意性實施例及其說明用于解釋本發明，并不構成對本發明的不當限定。在附圖中：

圖1示出了根據本發明實施例中CaCl₂溶液處理前基板玻璃1、障壁材料層2、障壁掩膜3配合結構示意圖；以及

圖2示出了根據本發明實施例中CaCl₂溶液處理后基板玻璃1、障壁材料層2、障壁掩膜3配合結構示意圖。

具體實施方式