[發明專利]集群設備控制系統及其調度方法

無效

• 申請號: 201110459173.6
• 申請日: 2011-12-31
• 公開（公告）號: CN103186420A
• 公開（公告）日: 2013-07-03
• 發明（設計）人: 梁小祎
• 申請（專利權）人: 北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司
• 主分類號: G06F9/46
• 分類號: G06F9/46
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201
• 代理人: 張大威

技術領域

本發明涉及微電子技術領域，特別涉及一種集群設備控制系統及其調度方法。

背景技術

隨著微電子制造技術的不斷發展和進步，微電子制造設備的復雜程度也越來越高。集簇設備控制軟件，例如刻蝕軟件系統，是一個穩定高效的分布式系統。如圖1所示，為現有集簇設備控制軟件架構圖。該軟件由五個獨立又緊密相關的子系統組成，包括PMC(Process?Module?Controller，工藝模塊控制系統)、TMC(Transport?Module?Controller，傳輸模塊控制系統)、CTC(Cluster?Tool?Controller，集群設備控制系統)、FA(Factory?Automation、工廠自動化軟件系統)和APC(Advanced?Process?Controller、先進工藝控制系統)。

其中，CTC軟件是集簇設備控制軟件的一部分，CTC軟件向上與工廠接口軟件連接，通過工廠接口軟件將設備的相關信息傳送給工廠控制中樞；CTC軟件向下與TMC、PMC軟件連接，控制TMC、PMC軟件的協調工作，使機臺達到較高的產率。目前的CTC軟件分為Communicator(通信)、Coordinator(協作)、Bridge(橋接)、CTCGUI(CTC圖形用戶界面)四個模塊，四個模塊各為一個獨立的進程，進程間通過.Net?Remoting進行通信。其中，CTC軟件的啟動順序依次為Communicator、Coordinator、Bridge和CTCGUI。后續的進程需要用到前面進程的信息，所以每個進程必須在前一個進程完全啟動后再啟動。需要說明的是，對于CTCGUI模塊來說，其最先啟動，而最后完成啟動，因此將其排在最后。

目前啟動CTC軟件，是由軟件人員手動依次啟動各個進程。每個進程由軟件人員根據相關的提示信息，判斷進程是否啟動完畢，如果該進程啟動完畢，然后再手動啟動下一個進程，依次啟動，直到所有進程均啟動成功。

現有技術的缺點是

1、CTC軟件各個模塊的進程的啟動，必須由對進程比較熟悉的人員自己判斷各個進程是否啟動完畢。如果某個進程未啟動完畢就啟動后續進程，會導致系統啟動不成功。并且當非軟件人員想使用該軟件系統，需要了解各個進程的啟動順序，及如何判斷某個進程是否啟動成功，不方便相關人員的使用。

2、手動依次啟動各進程，難免會出現啟動延時，會極大地降低啟動速度，從而造成生產效率的降低。

發明內容

本發明的目的旨在至少解決上述技術缺陷之一，特別提出了一種集群設備控制系統及其調度方法。

本發明實施例提出了一種集群設備控制系統的調度方法，所述集群設備控制系統包括多個具有預定啟動順序的CTCGUI程序、Communicator程序、Coordinator程序和Bridge程序，所述CTCGUI程序、Communicator程序、Coordinator程序和Bridge程序互為獨立的進程，所述方法包括以下步驟：啟動所述CTCGUI程序；按照所述預定啟動順序通過對應的公共接口調用所述Communicator程序；在所述Communicator程序啟動完成之后，所述Communicator程序通過其與CTCGUI程序之間獨立的通道通知所述CTCGUI程序；所述CTCGUI程序按照所述預定啟動順序繼續通過對應的公共接口調用所述Coordinator程序；在所述Coordinator程序啟動完成之后，所述Coordinator程序通過其與CTCGUI程序之間獨立的通道通知所述CTCGUI程序；所述CTCGUI程序按照所述預定啟動順序繼續通過對應的公共接口調用所述Bridge程序；在所述Bridge程序啟動完成之后，所述Bridge程序通過其與CTCGUI程序之間獨立的通道通知所述CTCGUI程序；以及所述CTCGUI程序完成應用程序的全部啟動。

在本發明的一個實施例中，在所述Communicator程序、Coordinator程序和Bridge程序啟動時，所述CTCGUI程序處于暫停狀態，當所述Communicator程序、Coordinator程序和Bridge程序啟動均完成之后，所述CTCGUI程序結束啟動。