[發明專利]線鋸控制系統和線鋸

有效

• 申請號: 201110459141.6
• 申請日: 2011-12-23
• 公開（公告）號: CN103085185A
• 公開（公告）日: 2013-05-08
• 發明（設計）人: 菲利普·那斯卡;吉恩-馬克·羅斯特
• 申請（專利權）人: 應用材料瑞士有限責任公司
• 主分類號: B28D7/00
• 分類號: B28D7/00;B28D5/04
• 代理公司: 北京東方億思知識產權代理有限責任公司 11258
• 代理人: 柳春雷

1.一種用于操作線鋸的線鋸控制系統，所述線鋸適合于通過以可選擇的線速度將線相對于晶片移動而切割所述晶片，所述線鋸控制系統包括：

a)用于檢查所述線的照相機；

b)用于根據線速度來操作所述照相機的照相機控制單元。

2.根據權利要求1或2所述的線鋸控制系統，所述線鋸控制系統根據檢查的結果來改變所述線鋸的至少一個操作參數。

3.根據權利要求2所述的線鋸控制系統，其中，所述至少一個操作參數是從以下組中的一個或者多個選擇：增大所述線速度、降低工作臺速度和增大向前移動和向后移動之間的比率。

4.根據權利要求1所述的線鋸控制系統，其中，檢查所述線包括檢查以下性能中的一個或者多個：線磨損、線直徑、線均一性、所述線的金剛石濃度和所述線的金剛石分布。

5.一種線鋸，包括：

用于操作線鋸的線鋸控制系統，所述線鋸適合于通過以可選擇的線速度將線相對于晶片移動而切割所述晶片，所述線鋸控制系統包括：

a)用于檢查所述線的照相機；

b)用于根據線速度來操作所述照相機的照相機控制單元。

6.根據權利要求5所述的線鋸，還包括收線線軸，其中，所述照相機與所述收線線軸相鄰定位。

7.根據權利要求5或6所述的線鋸，還包括至少一個驅動器，所述驅動器用于驅動所述線，其中，所述驅動器適合于執行前后移動。

8.根據權利要求5或6所述的線鋸，其中，所述線是金剛石線。

9.根據權利要求5或6所述的線鋸，所述線鋸適合于根據檢查的結果來改變所述線鋸的至少一個操作參數。

10.根據權利要求5或6所述的線鋸，其中，所述至少一個操作參數是從以下組中的一個或者多個選擇：增大所述線速度、降低工作臺速度和增大向前移動和向后移動之間的比率。

11.根據權利要求5或6所述的線鋸，其中，檢查所述線包括檢查以下性能中的一個或者多個：線磨損、線直徑、線均一性、所述線的金剛石濃度和所述線的金剛石分布。

12.一種用于檢查線鋸的線的方法，所述線鋸適合于通過所述線和晶片的相對移動來切割所述晶片，所述方法包括如下步驟：

a)以可變的線速度移動所述線；并且

b)根據所述線速度來檢查所述線，由此獲得檢查結果。

13.根據權利要求12或13所述的方法，其中，檢查所述線包括用照相機拍攝所述線的至少一個圖像。

14.根據權利要求12或13所述的方法，其中，檢查所述線包括檢查以下性能中的一個或者多個：線磨損、線質量、線直徑、線均一性、所述線的金剛石濃度和所述線的金剛石分布。

15.根據權利要求12或13所述的方法，還包括操作所述線鋸。

16.根據權利要求15所述的方法，其中，操作所述線鋸包括將所述線沿著第一方向移動第一時間間隔，并且將所述線沿著第二方向移動第二時間間隔，其中，所述第一方向和所述第二方向彼此相反。

17.根據權利要求16所述的方法，其中，所述第二時間間隔比所述第一時間間隔小。

18.根據權利要求15所述的方法，其中，當所述線速度基本上為零時檢查所述線。

19.根據權利要求15所述的方法，其中，操作所述線鋸包括根據所述檢查結果而改變所述線鋸的至少一個操作參數。

20.根據權利要求19所述的方法，其中，所述至少一個操作參數是從以下組中的一個或者多個選擇：增大所述線速度、降低所述工作臺速度和增大向前移動和向后移動之間的比率。