[發明專利]用于板式PECVD設備的硅片自動上下料系統

有效

• 申請號: 201110458861.0
• 申請日: 2011-12-31
• 公開（公告）號: CN102437251A
• 公開（公告）日: 2012-05-02
• 發明（設計）人: 陳平;胡文全;劉曉平;陳世強;陶凌
• 申請（專利權）人: 無錫市奧曼特科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/677
• 代理公司: 無錫盛陽專利商標事務所(普通合伙) 32227
• 代理人: 顧吉云

1.用于板式PECVD設備的硅片自動上下料系統，其包括主機架，所述主機架安裝于PECVD設備的進料端側，其特征在于：其包括控制系統、待處理硅片送料機構、已處理硅片出料機構、硅片轉運機構以及硅片的橫向搬運機構，所述待處理硅片送料機構與已處理硅片出料機構沿縱向平行布置于所述主機架的橫向兩側，所述硅片轉運機構沿縱向布置、并安裝于所述待處理硅片送料機構與已處理硅片出料機構之間，所述硅片的橫向搬運機構安裝于所述主機架上、并橫跨于所述待處理硅片送料機構、硅片轉運機構、已處理硅片出料機構的上方，所述待處理硅片送料機構、已處理硅片出料機構、硅片轉動機構、硅片的橫向搬運機構與所述控制系統之間均電控連接。

2.根據權利要求1所述的用于板式PECVD設備的硅片自動上下料系統，其特征在于：所述待處理硅片送料機構包括硅片盒運輸線一、進料升降臺、排片輸送機、出片機構，所述硅片盒運輸線一和所述排片輸送機分別沿縱向同軸安裝于進料機架、所述主機架，所述進料升降臺固定于所述進料機架、位于所述硅片盒運輸線一出料端與所述排片輸送機進料端之間；所述出片機構沿縱向安裝于所述排片輸送機的下方；所述排片輸送機的進料端安裝有硅片定位裝置，所述硅片定位裝置固定于所述主機架；所述硅片定位裝置包括縱向定位裝置和橫向定位裝置。

3.根據權利要求2所述的用于板式PECVD設備的硅片自動上下料系統，其特征在于：所述已處理硅片出料機構包括硅片盒運輸線二、出料升降臺、出片搬運架、出片輸送機，所述硅片盒運輸線二與所述出片輸送機沿縱向同軸布置，所述硅片盒運輸線二、出片輸送機分別沿縱向安裝于出料機架和所述主機架，所述出料升降臺固定于所述出料機架、并位于所述出片輸送機的出料端與所述硅片盒運輸線二的進料端之間；所述出片搬運架沿縱向固定于所述主機架、所述出料升降臺的側面；所述出片輸送機的出料末端安裝有所述橫向定位裝置。

4.根據權利要求3所述的用于板式PECVD設備的硅片自動上下料系統，其特征在于：所述硅片轉運機構包括碳板輸送裝卸臺、碳板升降臺和底部機內輸送線，所述碳板升降臺設置有兩組，其中一組安裝于所述主機架的外側且位于所述進料機架與所述出料機架的橫向中間、另一組安裝于PECVD設備出料端側，所述碳板輸送裝卸臺固定于所述主機架、其橫向位置正對PECVD設備的進料口，所述底部機內輸送線沿縱向布置于所述兩組碳板升降臺之間，其包括主機架段輸送線與PECVD段輸送線，所述主機架段輸送線安裝于所述主機架內、并位于所述碳板輸送裝卸臺的下方，所述PECVD段輸送線安裝于所述PECVD的底部。

5.根據權利要求4所述的用于板式PECVD設備的硅片自動上下料系統，其特征在于：所述硅片的橫向搬運機構固定于所述主機架、并橫跨于所述排片輸送機、碳板輸送裝卸臺、出片輸送機上方。

6.根據權利要求5所述的用于板式PECVD設備的硅片自動上下料系統，其特征在于：所述硅片盒運輸線一和硅片盒運輸線二均包括進盒線與出盒線，所述進盒線與出盒線均設置有輸送電機，所述輸送電機輸出端通過聯軸器連接轉動軸，所述轉動軸兩端固定有同步帶輪，所述同步帶輪通過同步帶連接輸送同步帶輪；所述進盒線的輸送電機與出盒線的輸送電機旋轉方向相反；所述進盒線與出盒線層疊安裝；所述硅片盒運輸線一的進盒線一與出盒線一沿縱向層疊安裝于所述進料機架上、且所述出盒線一位于所述進盒線一的上方；所述硅片盒運輸線二的進盒線二與出盒線二沿縱向層疊安裝于所述出料機架，所述進盒線二位于所述出盒線二的上方。