[發明專利]板式PECVD設備上下料系統的碳板輸送裝卸臺

有效

• 申請號: 201110458757.1
• 申請日: 2011-12-31
• 公開（公告）號: CN102569509A
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發明（設計）人: 劉曉平;陳平
• 申請（專利權）人: 無錫市奧曼特科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/677;C23C16/44
• 代理公司: 無錫盛陽專利商標事務所(普通合伙) 32227
• 代理人: 顧吉云

1.板式PECVD設備上下料系統的碳板輸送裝卸臺，其特征在于：其整體安裝于板式PECVD設備的進料口側以及碳板升降臺之間，其包括支架、水平輸送機構、壓緊定位機構、頂升機構和定位機構，所述支架的安裝方向與PECVD硅片進料方向垂直，所述水平輸送機構安裝于所述支架，所述壓緊定位機構和定位機構分別安裝于所述水平輸送機構的縱向兩端，所述頂升機構通過固定板安裝于所述支架。

2.根據權利要求1所述的板式PECVD設備上下料系統的碳板輸送裝卸臺，其特征在于：所述水平輸送機構包括電機、傳動軸、主動輸送輪和從動輸送輪，所述電機通過電機支架固定于輸送機機架下部，所述傳動軸的縱向兩端通過軸承座一固定于所述輸送機機架的橫向支架，所述電機與所述傳動軸通過同步帶輪傳動連接，所述傳動軸的縱向兩端均分別通過所述軸承座一安裝有一個所述主動輸送輪，所述兩側橫向支架上通過軸承座二安裝有兩個所述主動輸送輪與兩個從動輸送輪，所述主動輸送輪與從動輸送輪均勻、間隔分布安裝于所述橫向支架，單側所述橫向支架上、相鄰兩個所述主動輸送輪之間通過傳送帶傳動連接。

3.根據權利要求2所述的板式PECVD設備上下料系統的碳板輸送裝卸臺，其特征在于：所述壓緊定位機構設置有兩個，分別通過安裝板一安裝于所述輸送機機架進料側的縱向支架兩端；所述安裝板一下部固定有橫向氣動滑臺一，所述橫向氣動滑臺一通過連接板一連接豎向氣動滑臺一，所述豎向氣動滑臺一的上端固定有壓緊座，所述壓緊座通過導桿一連接壓緊塊，所述導桿一外部套裝有彈簧，所述豎向氣動滑臺一通過縱向連接板安裝有調節板一，所述調節板一的橫向前端安裝有定位輪一。

4.根據權利要求3所述的板式PECVD設備上下料系統的碳板輸送裝卸臺，其特征在于：所述頂升機構包括頂升板，所述頂升板上部安裝有載片柱，所述頂升板下部通過連接板二固定于豎向氣動滑臺二，所述豎向氣動滑臺二固定于所述固定板，所述固定板固定于所述支架，所述豎向氣動滑臺二側面安裝有直線軸承導軌，所述直線軸承導軌上安裝有導桿二，所述導桿二上端頂緊所述連接板二下部。

5.根據權利要求4所述的板式PECVD設備上下料系統的碳板輸送裝卸臺，其特征在于：所述定位機構包括設置有兩個，分別通過安裝板二固定于所述輸送機機架出料側的縱向支架兩端；所述安裝板二下部固定有橫向氣動滑臺二，所述橫向氣動滑臺二通過連接板三與豎向氣動滑臺三連接，所述豎向氣動滑臺三上端通過連接塊與調節板二，所述調節板二的前端固定有定位輪二。