[發明專利]平板式光刻板無效
| 申請號： | 201110458416.4 | 申請日： | 2011-12-31 |
| 公開（公告）號： | CN103777456A | 公開（公告）日： | 2014-05-07 |
| 發明（設計）人： | 魏臻 | 申請（專利權）人： | 聚燦光電科技(蘇州)有限公司 |
| 主分類號： | G03F1/26 | 分類號： | G03F1/26 |
| 代理公司： | 蘇州廣正知識產權代理有限公司 32234 | 代理人： | 張利強 |
| 地址： | 215123 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 平板 刻板 | ||
【權利要求書】：
1.一種平板式光刻板，它包括石英基板（1），其特征在于：所述的石英基板（1）的上表面的預定位置蝕刻有凹槽（2），所述的凹槽（2）內填充有鉻（3），所述的鉻（3）與所述的石英基板（1）的上表面相平齊。
2.根據權利要求1所述的平板式光刻板，其特征在于：所述的凹槽（2）底部制作有掩模圖形。
3.根據權利要求1所述的平板式光刻板，其特征在于：填充在所述的凹槽（2）內的鉻（3）的上表面或者下表面制作有掩模圖形。
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G03 攝影術；電影術；利用了光波以外其他波的類似技術；電記錄術；全息攝影術
G03F 圖紋面的照相制版工藝，例如，印刷工藝、半導體器件的加工工藝；其所用材料；其所用原版；其所用專用設備
G03F1-00 用于圖紋面的照相制版的原版，例如掩膜，光掩膜；其所用空白掩膜或其所用薄膜；其專門適用于此的容器；其制備
G03F1-20 .用于通過帶電粒子束(CPB)輻照成像的掩膜或空白掩膜，例如通過電子束；其制備
G03F1-22 .用于通過100nm或更短波長輻照成像的掩膜或空白掩膜，例如 X射線掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM]；PSM空白；其制備
G03F1-36 .具有臨近校正特征的掩膜；其制備，例如光學臨近校正(OPC)設計工藝
G03F1-38 .具有輔助特征的掩膜，例如用于校準或測試的特殊涂層或標記；其制備
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