[發(fā)明專利]一種晶棒粘棒用清洗液及使用該清洗液的粘棒工藝

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110458003.6
• 申請日: 2011-12-30
• 公開（公告）號: CN102586034A
• 公開（公告）日: 2012-07-18
• 發(fā)明（設計）人: 張馳;熊震;付少永;王梅花
• 申請（專利權）人: 常州天合光能有限公司
• 主分類號: C11D1/83
• 分類號: C11D1/83;C11D1/10;C11D1/66;C30B33/06
• 代理公司: 常州市維益專利事務所 32211
• 代理人: 王凌霄

技術領域

本發(fā)明涉及一種晶棒粘棒用清洗液及使用該清洗液的粘棒工藝。

背景技術

在硅片加工工藝中，晶棒進行磨面、倒角加工后，一些微小硅粉等顆粒和人工搬運造成的油污會黏附于晶棒表面，通過普通的清洗工藝很難達到完全去除的目的；且清洗后的晶棒在待粘棒之前暴露于空氣中，空氣中的粉塵等雜質顆粒會黏附在晶棒表面。同時，粘棒所用玻璃板通過普通超聲清洗工藝也很難去除其表面上黏附的雜質顆粒與油污，這些因素的存在會導致晶棒與玻璃板之間附著力的降低，造成硅片在切割過程中出現脫膠掉棒等生產事故，降低硅片合格率，增加生產成本。

發(fā)明內容

本發(fā)明所要解決的技術問題是：提供一種晶棒粘棒用清洗液及使用該清洗液的粘棒工藝，提高粘棒質量。

本發(fā)明解決其技術問題所采用的技術方案是：一種晶棒粘棒用清洗液，清洗液為水溶性聚合物，配比為：羥乙基纖維素∶丙二胺四乙酸∶去離子水＝(0.1％-1.6％)∶(1％-6％)∶(92.4％-98.9％)。

優(yōu)化地，羥乙基纖維素∶丙二胺四乙酸∶去離子水＝1.2％∶5％∶93.8％。

一種晶棒粘棒工藝，包括下列步驟：

第一步、晶棒前處理；

第二步、晶棒清洗：將前處理的晶棒置于超聲機中超聲清洗，清洗液為水溶性聚合物，配比∶羥乙基纖維素∶丙二胺四乙酸∶去離子水＝(0.1％-1.6％)∶(1％-6％)∶(92.4％-98.9％)，超聲頻率：20-100kHZ，超聲時間：1-20min，溫度：室溫；

第三步、漂洗：將清洗后的晶棒用去離子水漂洗后氮氣吹干；

第四步、玻璃板清洗：將玻璃板置于超聲機中超聲清洗，清洗液為水溶性聚合物，配比：羥乙基纖維素∶丙二胺四乙酸∶去離子水＝(0.1％-1.6％)∶(1％-6％)∶(92.4％-98.9％)，超聲頻率：20-100kHZ，超聲時間：1-20min，溫度：室溫；

第五步、漂洗：將清洗后的玻璃板用去離子水漂洗后用氮氣吹干；

第六步、粘棒：將粘棒膠均勻涂于晶棒的一個側面，進行粘棒，固化時間為5-72h。

本發(fā)明的有益效果是：通過本發(fā)明的清洗液清洗的晶棒和玻璃板能確保去除黏附在晶棒與玻璃板表面的油污和微小硅粉等雜質顆粒，同時確保清洗后晶棒表面具有良好的潤濕性能，降低空氣中粉塵等雜質顆粒在晶棒表面的黏附力，改善晶棒和玻璃板表面的潔凈度，增加晶棒與玻璃板之間的附著力，從而降低硅片切割過程中的脫膠掉棒現象，提高切片收益率，降低成本。

具體實施方式

一種晶棒粘棒用清洗液，其特征是：所述的清洗液為水溶性聚合物，配比為：羥乙基纖維素∶丙二胺四乙酸∶去離子水＝(0.1％-1.6％)∶(1％-6％)∶(92.4％-98.9％)。

一種使用該清洗液的粘棒工藝，包括下列步驟：

第一步、前處理：將截斷晶棒進行磨面、倒角加工。

第二步、晶棒清洗：將上述晶棒置于超聲機中超聲清洗。清洗液為水溶性聚合物，配比：羥乙基纖維素∶丙二胺四乙酸∶去離子水＝(0.1％-1.6％)∶(1％-6％)∶(92.4％-98.9％)，超聲頻率：20-100kHZ，超聲時間：1-20min，溫度：室溫。

第三步、漂洗：將清洗后的晶棒用去離子水漂洗后氮氣吹干。

第四步、玻璃板清洗：將玻璃板置于超聲機中超聲清洗。清洗液為水溶性聚合物，配比：羥乙基纖維素∶丙二胺四乙酸∶去離子水＝(0.1％-1.6％)∶(1％-6％)∶(92.4％-98.9％)，超聲頻率：20-100kHZ，超聲時間：1-20min，溫度：室溫。

第五步、漂洗：將清洗后的玻璃板用去離子水漂洗后用氮氣吹干。

第六步、粘棒：將粘棒膠均勻涂于晶棒的一個側面，進行粘棒，固化時間為5-72h。

以采用尺寸為200mm×156mm，電阻率為0.5-3.0ohm-cm的P型多晶硅硅棒為例，采用本發(fā)明方法處理：

第一步、前處理：將截斷晶棒進行磨面、倒角加工。

第二步、晶棒清洗：將上述晶棒置于超聲機中超聲清洗。清洗液為水溶性聚合物，配比：羥乙基纖維素∶丙二胺四乙酸∶去離子水＝1.2％∶5％∶93.8％，超聲頻率：80kHZ，超聲時間：10min，溫度：25℃。

第三步、漂洗：將清洗后的晶棒用去離子水漂洗后用氮氣吹干。

第四步、玻璃板清洗：將玻璃板置于超聲機中超聲清洗。清洗液為水溶性聚合物，配比：羥乙基纖維素∶丙二胺四乙酸∶去離子水＝1.2％∶5％∶93.8％，超聲頻率：80kHZ，超聲時間：10min，溫度：25℃。