[發(fā)明專利]用于轉移石墨舟上半導體晶粒的吸盤裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110457925.5
• 申請日: 2011-12-31
• 公開（公告）號: CN102543815A
• 公開（公告）日: 2012-07-04
• 發(fā)明（設計）人: 葛永明;韋德富;張洪海;任志龍
• 申請（專利權）人: 蘇州固锝電子股份有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L21/677
• 代理公司: 蘇州創(chuàng)元專利商標事務所有限公司 32103
• 代理人: 馬明渡

1.一種用于轉移石墨舟上半導體晶粒的吸盤裝置，所述石墨舟具有放置半導體晶粒（24）的晶粒凹槽（25），所述吸盤裝置包括：內(nèi)設有第一空腔（1）的把手（2）和蓋板（3），此把手（2）一端設有與所述第一空腔（1）連通的氣嘴（4），此把手（2）下表面設有至少一個與所述第一空腔（1）連通的第一通氣孔（5），所述蓋板（3）上設有與所述第一通氣孔（5）相應的第二通氣孔（6），一氣體連接管（7）連通所述第一通氣孔（5）和第二通氣孔（6）；其特征在于：一底板（8）安裝于所述蓋板（3）下表面，此底板（8）與蓋板（3）通過側板（9）形成與所述第一空腔（1）連通的第二空腔（10），所述底板（8）上設置有若干個用于吸附所述半導體晶粒的吸嘴（11）和至少兩個漏氣通孔（12）；

由上塞體（13）和下塞體（14）組成的活動通孔塞（15）與所述漏氣通孔（12）間隙配合安裝，此上塞體（13）具有上端面部（16）和固定于上端面部（16）下表面中央的上固定柱（17），此上固定柱（17）周邊具有至少兩個相間排列的上導氣筋（18），所述下塞體（14）具有下端面部（19）和固定于下端面部（19）上表面中央的下固定柱（20），此下固定柱（20）周邊具有至少兩個相間排列的下導氣筋（21），所述上塞體（13）位于第二空腔（10）內(nèi)并嵌入所述漏氣通孔（12）內(nèi)，所述下塞體（14）從底板（8）下方嵌入所述漏氣通孔（12）內(nèi)且下塞體（14）的下固定柱（20）與上塞體（13）的上固定柱（17）固定連接，所述上導氣筋（18）的寬度大于所述下導氣筋（21）的寬度，所述下端面部（19）和上端面部（16）的直徑大于所述漏氣通孔（12）的直徑，所述活動通孔塞（15）的上端面部（16）和下端面部（19）之間的距離大于漏氣通孔（12）的厚度，從而保證此活動通孔塞（15）可沿漏氣通孔（12）上下行進；當活動通孔塞（15）的下塞體（14）封閉漏氣通孔（12）時，氣流從所述吸嘴（11）流入，當活動通孔塞（15）的上塞體（13）封閉漏氣通孔（12）時，氣流從所述漏氣通孔（12）流入。

2.根據(jù)權利要求1所述的吸盤裝置，其特征在于：所述上導氣筋（18）的數(shù)目為三個，且相互夾角為120°。

3.根據(jù)權利要求1所述的吸盤裝置，其特征在于：所述下導氣筋（21）的數(shù)目為三個，且相互夾角為120°。

4.根據(jù)權利要求1所述的吸盤裝置，其特征在于：所述上導氣筋（18）和下導氣筋（21）位于直線上。

5.根據(jù)權利要求1所述的吸盤裝置，其特征在于：所述底板（8）下表面且位于漏氣通孔（12）周邊具有安裝凸臺（22）。

6.根據(jù)權利要求1所述的吸盤裝置，其特征在于：所述底板（8）下表面還設置有用于與所述石墨舟定位的定位銷（23）。

7.根據(jù)權利要求1所述的吸盤裝置，其特征在于：所述下固定柱（20）與上固定柱（17）之間通過螺紋配合固定。