[發明專利]噴淋清洗槽

有效

• 申請號: 201110457737.2
• 申請日: 2011-12-31
• 公開（公告）號: CN102513302A
• 公開（公告）日: 2012-06-27
• 發明（設計）人: 王振榮;劉紅兵;黃利松
• 申請（專利權）人: 上海新陽半導體材料股份有限公司
• 主分類號: B08B3/02
• 分類號: B08B3/02;H01L21/67
• 代理公司: 上海脫穎律師事務所 31259
• 代理人: 李強

1.噴淋清洗槽，包括槽體，所述槽體設置有容腔；其特征在于，還包括：

第一支架，所述第一支架可移動地設置于容腔內；

夾具，所述夾具用于夾持待洗工件，夾具可轉動地設置于第一支架上；

噴液管，所述噴液管設置有朝向夾具的噴液口。

2.根據權利要求1所述的噴淋清洗槽，其特征在于，所述噴淋管與夾具可相對移動地設置于容腔內。

3.根據權利要求2所述的噴淋清洗槽，其特征在于，所述第一支架可上下往復移動地設置。

4.根據權利要求3所述的噴淋清洗槽，其特征在于，還包括第一驅動裝置；第一驅動裝置通過第一傳動裝置與第一支架傳動連接；所述第一驅動裝置通過第一傳動裝置驅動第一支架上下往復運動。

5.根據權利要求4所述的噴淋清洗槽，其特征在于，所述第一傳動裝置包括齒條及齒輪；齒條端部與第一支架連接；齒輪安裝于第一驅動裝置的輸出軸上并受第一驅動裝置驅動旋轉；齒條與齒輪嚙合。

6.根據權利要求5所述的噴淋清洗槽，其特征在于，所述第一傳動裝置為絲杠螺母，絲杠螺母的絲桿與第一支架連接；第一驅動裝置與絲杠螺母的螺母傳傳動連接，第一驅動裝置驅動絲杠螺母的螺母旋轉。

7.根據權利要求1或2所述的噴淋清洗槽，其特征在于，所述的噴淋管可上下往復移動地設置于容腔內。

8.根據權利要求7所述的噴淋清洗槽，其特征在于，噴淋管安裝于第二支架上；還包括第二驅動裝置，所述第二驅動裝置與第二支架傳動連接；所述第二驅動裝置驅動第二支架上下往復運動。

9.根據權利要求8所述的噴淋清洗槽，其特征在于，所述第二驅動裝置為第二減速電機；第二減速電機通過第二傳動裝置與第二支架傳動連接。

10.根據權利要求9所述的噴淋清洗槽，其特征在于，減速電機具有輸出軸，所述輸出軸水平設置；減速電機輸出軸上安裝有轉盤，所述轉盤與第二支架通過連桿連接；所述連桿連接在轉盤的非圓心位置；連桿與第二支架連接點位于連桿與轉盤的連接點的上方。

11.根據權利要求8所述的噴淋清洗槽，其特征在于，所述容腔內設置有在第二支架上下運動過程中導向的導向裝置。

12.根據權利要求11所述的噴淋清洗槽，其特征在于，所述導向裝置為相互配合的滑塊與導軌；所述滑塊與第二支架連接，所述導軌安裝于容腔內。

13.根據權利要求1或2所述的噴淋清洗槽，其特征在于，還包括第三驅動裝置，所述第三驅動裝置驅動夾具轉動。

14.根據權利要求13所述的噴淋清洗槽，其特征在于，所述第三驅動裝置與夾具通過第三傳動裝置傳動連接。

15.根據權利要求14所述的噴淋清洗槽，其特征在于，所述第三傳動裝置包括同步帶、傳動鏈和齒輪中的一種或幾種。

16.根據權利要求13所述的噴淋清洗槽，其特征在于，所述夾具安裝于轉軸上，轉軸可轉動地安裝于第一支架上。

17.根據權利要求16所述的噴淋清洗槽，其特征在于，所述轉軸兩端分別安裝有一個夾具；所述噴淋管數目為兩個。

18.根據權利要求16所述的噴淋清洗槽，其特征在于，所述第三驅動裝置通過同步帶驅動轉軸轉動。

19.根據權利要求18所述的噴淋清洗槽，其特征在于，所述第三驅動裝置通過同步帶和齒輪驅動轉軸轉動；第一同步帶輪安裝于第三驅動裝置的輸出軸上；第二同步帶輪與第一齒輪同軸安裝；同步帶套裝在第一同步帶輪和第二同步帶輪上；轉軸上安裝有第二齒輪；第一齒輪與第二齒輪嚙合、或者第一齒輪及第二齒輪同時與第三齒輪嚙合。

20.根據權利要求1或2所述的噴淋清洗槽，其特征在于，所述夾具包括基板、定位柱、定位塊及彈性復位裝置；所述定位柱設置于基板表面并突出于基板表面；所述定位塊設置在基板邊緣，且定位塊設置有自基板邊緣向基板中心延伸的擋片，所述定位塊可遠離基板邊緣運動并可回復至扣合在基板邊緣地設置；所述彈性復位裝置在定位塊遠離基板邊緣運動時產生彈性變形力，該彈性變形力具有使定位塊回復至扣合在基板邊緣的位置的趨勢。