[發(fā)明專利]一種用于等離子體處理裝置的可調(diào)節(jié)約束裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110457216.7
• 申請(qǐng)日: 2011-12-30
• 公開（公告）號(hào): CN103187234A
• 公開（公告）日: 2013-07-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳紫陽(yáng);李菁;邱達(dá)燕
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司
• 主分類號(hào): H01J37/32
• 分類號(hào): H01J37/32
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司 31002
• 代理人: 王潔

1.一種應(yīng)用于等離子體處理裝置的可調(diào)節(jié)等離子約束裝置，其中，所述等離子處理裝置包括等離子制程區(qū)和排氣區(qū)，所述所述等離子約束裝置位于所述等離子處理裝置的等離子制程區(qū)和排氣區(qū)之間，具有多個(gè)氣體通道使來(lái)自制程區(qū)的氣體流過(guò)所述等離子約束裝置進(jìn)入排氣區(qū)時(shí)被中和，其特征在于：所述等離子約束裝置包括：

電氣接地元件；

導(dǎo)電元件，所述導(dǎo)電元件位于所述電氣接地元件上方，且二者相互電絕緣，所述導(dǎo)電元件設(shè)置有若干個(gè)氣體通道；

間隔元件，所述間隔元件設(shè)置于所述電氣接地元件和所述導(dǎo)電元件之間，其中，所述間隔元件由絕緣材料制成。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可調(diào)節(jié)等離子體約束裝置，其特征在于，在所述導(dǎo)電元件的下表面設(shè)置了一層第一電氣絕緣層，在所述電氣接地元件的上表面上設(shè)置了一層第二電氣絕緣層，其中，所述第一電氣絕緣層位于所述第二電氣絕緣層之上。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的可調(diào)節(jié)等離子約束裝置，其特征在于，所述間隔元件設(shè)置于所述電氣接地元件和所述導(dǎo)電元件之間的安裝點(diǎn)，所述安裝點(diǎn)對(duì)應(yīng)于所述約束環(huán)上方的等離子體濃度小于所述約束環(huán)上方其他部分達(dá)到大于10％的區(qū)域。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的可調(diào)節(jié)約束環(huán)，其特征在于，所述安裝點(diǎn)位于遠(yuǎn)離所述接地元件的一側(cè)。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的可調(diào)節(jié)約束環(huán)，其特征在于，所述安裝點(diǎn)位于所述等離子體處理裝置的上電極和下電極距離較大的一側(cè)。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的可調(diào)節(jié)約束環(huán)，其特征在于，所述安裝點(diǎn)位于所述等離子體處理裝置的腔體凹陷的一側(cè)。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的可調(diào)節(jié)約束環(huán)，其特征在于，所述安裝點(diǎn)位于遠(yuǎn)離等離子體處理裝置的真空泵的一側(cè)。

8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的可調(diào)節(jié)等離子約束裝置，其特征在于，所述間隔元件的面積達(dá)到至少能夠部分覆蓋所述第一電氣絕緣層和第二電氣絕緣層。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的可調(diào)節(jié)等離子約束裝置，其特征在于，所述間隔元件的厚度的取值范圍小于90微米。

10.一種等離子體處理裝置，其特征在于，所述等離子體處理裝置包括權(quán)利要求1至9任一項(xiàng)所述的可調(diào)節(jié)等離子體約束裝置。

11.一種應(yīng)用于等離子體處理裝置的可調(diào)節(jié)等離子約束裝置，其中，所述等離子處理裝置包括等離子制程區(qū)和排氣區(qū)，所述所述等離子約束裝置位于所述等離子處理裝置的等離子制程區(qū)和排氣區(qū)之間，具有多個(gè)氣體通道使來(lái)自制程區(qū)的氣體流過(guò)所述等離子約束裝置進(jìn)入排氣區(qū)時(shí)被中和，其特征在于：所述等離子約束裝置包括：

電氣接地元件；

導(dǎo)電元件，所述導(dǎo)電元件位于所述電氣接地元件上方，且二者相互電絕緣，所述導(dǎo)電元件設(shè)置有若干個(gè)氣體通道；

在電氣接地元件和導(dǎo)電元件之間對(duì)應(yīng)空間中，部分空間存在由絕緣材料制成的間隔元件，使接地元件和導(dǎo)電元件之間產(chǎn)生高電容耦合區(qū)和低電容耦合區(qū)，其中高電容耦合區(qū)中電氣接地元件和導(dǎo)電元件之間具有更強(qiáng)的等效電容。