[發(fā)明專利]用于測量圖案化的玻璃基板的透射率的設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110456125.1
• 申請日: 2011-12-30
• 公開（公告）號: CN102539390A
• 公開（公告）日: 2012-07-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 樸敬旭;權(quán)潤瑛;崔宰榮;李鐘聲;李會官;曹瑞英;尹敬敏
• 申請（專利權(quán)）人: 三星康寧精密素材株式會社
• 主分類號: G01N21/59
• 分類號: G01N21/59;G01M11/02
• 代理公司: 北京德琦知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11018
• 代理人: 于未茗;宋志強

1.一種用于測量圖案化的玻璃基板的透射率的設(shè)備，包括：

發(fā)射激光束的光束輻射器；

對從激光束輻射器發(fā)射來的激光束進行準直的準直透鏡；

對經(jīng)所述準直透鏡準直的激光束的大小進行擴展的光束擴展器；

具有光接收部分的探測器，接收經(jīng)所述光束擴展器擴展之后穿過所述圖案化的玻璃基板的激光束；以及

利用所述探測器接收的激光束對所述圖案化的玻璃基板的透射率進行測量的測量部分。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中，從所述激光束輻射器發(fā)射的激光束具有550nm的單一波長。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中，所述光束擴展器將激光束擴展到使激光束能入射到所述圖案化的玻璃基板的至少10個圖案單元上的大小。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中，所述探測器的光接收部分的大小為經(jīng)所述光束擴展器擴展之后入射到所述圖案化的玻璃基板上的激光束的大小的至少兩倍。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，還包括將從所述激光束輻射器發(fā)射的激光束反射到所述準直透鏡的反射鏡。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的設(shè)備，還包括從所述反射鏡反射的激光束中去除噪聲的噪聲濾波器。