[發明專利]單晶爐的熱場無效
| 申請號: | 201110455604.1 | 申請日: | 2011-12-31 |
| 公開(公告)號: | CN103184510A | 公開(公告)日: | 2013-07-03 |
| 發明(設計)人: | 湯仁興 | 申請(專利權)人: | 湯仁興 |
| 主分類號: | C30B15/14 | 分類號: | C30B15/14 |
| 代理公司: | 江陰市同盛專利事務所(普通合伙) 32210 | 代理人: | 唐紉蘭;曾丹 |
| 地址: | 214434 江蘇省*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 單晶爐 | ||
1.一種單晶爐的熱場,其特征在于:它包括爐體(1),所述爐體(1)內設置有保溫筒(2),爐體(1)與保溫筒(2)之間設置有保溫氈(3),所述爐體(1)內部設有坩堝托盤(4),所述坩堝托盤(4)底部通過坩堝軸(5)與爐體(1)底部相固定,所述坩堝托盤(4)內設有石墨坩堝(6),所述石墨坩堝(6)內設有石英坩堝(7),所述石英坩堝(7)外側設有加熱器(8),所述加熱器(8)通過加熱電極(9)固定在爐體(1)底部,所述爐體(1)下部的兩側設置有真空抽口(5),所述真空抽口(5)穿過爐體(1)、保溫氈(3)和保溫筒(2),并與保溫筒(3)和加熱器(4)之間的內腔相連通。
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