[發明專利]單晶爐的爐體

無效

• 申請號: 201110455602.2
• 申請日: 2011-12-31
• 公開（公告）號: CN103184531A
• 公開（公告）日: 2013-07-03
• 發明（設計）人: 湯仁興
• 申請（專利權）人: 湯仁興
• 主分類號: C30B35/00
• 分類號: C30B35/00;C30B29/06;C30B15/00
• 代理公司: 江陰市同盛專利事務所(普通合伙) 32210
• 代理人: 唐紉蘭;曾丹

技術領域

本發明涉及一種單晶爐的爐體，屬于單晶硅的生產制造設備技術領域。

背景技術

單晶硅是具有完整的點陣結構的晶體，是一種良好的半導體材料，目前被廣泛用于半導體器件以及太陽能電池的制造。現有的單晶硅制造設備為單晶爐，其主要包括爐底、下爐體、上爐體、上爐蓋、隔離閥和副爐六大部分組成。

其中上爐體和下爐體為單晶爐的主要加工部分，其質量的好壞直接影響到單晶硅的生產質量。然而以往的上爐體和下爐體之間通過法蘭連接，當需要將上爐體和下爐體拆開或裝上時，要將螺絲一個個松開或擰緊后才能用提升機構將上爐體和下爐體拆開或裝上。然而這樣的拆裝方式效率較低，拆卸或擰緊螺絲所用的時間較長，導致單晶爐爐體的拆裝極不方便。并且爐體為封閉式，這樣便看不到爐體內部單晶硅晶棒的拉拔情況，對操作人員的操作帶來了不便。

發明內容

本發明的目的在于克服上述不足，提供一種節省拆裝時間，效率較高，并且方便操作人員判斷和操作的單晶爐的爐體。

本發明的目的是這樣實現的：

本發明單晶爐的爐體，包括上爐體和下爐體，所述上爐體下部的側壁上設有若干凸塊，所述下爐體上部的側壁上設有若干箱扣，所述箱扣與凸塊的數量相同，且每個箱扣均設于凸塊的下方，所述箱扣與凸塊相配合，所述上爐體的頂部還開有觀察窗。

這種單晶爐的爐體具有以下優點：

這種單晶爐的爐體在上爐體的下部的側壁上設置凸塊，并在下爐體上部的側壁上設置箱扣，當需要用提升機構拆裝上爐體和下爐體時，只要將箱扣扣緊凸塊或拉開便能輕松完成，使得上爐體和下爐體拆裝方便，拆裝效率較高。并且在上爐體頂部開設了一個通孔，并在通孔內裝上了鋼化玻璃作為觀察窗，操作人員可以通過玻璃看到上爐體內單晶硅晶棒的拉拔情況，從而做出相應操作，方便了員工操作。

附圖說明

圖1為本發明單晶爐的爐體的結構示意圖。

圖2為圖1中箱扣和凸塊連接結構示意圖。

圖3為圖1中上爐體頂部的結構示意圖。

圖中：上爐體1、下爐體2、凸塊3、箱扣4、觀察窗5。

具體實施方式

參見圖1至圖3，本發明涉及的一種單晶爐的爐體，包括上爐體1和下爐體2，所述上爐體1下部的側壁上設有若干凸塊3，所述下爐體2上部的側壁上設有若干箱扣4，所述箱扣4與凸塊3的數量相同，且每個箱扣4均設于凸塊3的下方，所述箱扣4與凸塊3相配合，當需要拆裝上爐體1和下爐體2時，只要松開或扣上箱扣4便能方便地完成，提高了上爐體1和下爐體2的拆裝效率，所述上爐體1的頂部還開有觀察窗5用于觀察上爐體內單晶硅晶棒的拉拔情況，所述觀察窗5為開設在上爐體1頂部的通孔，并在通孔內裝上了鋼化玻璃。