[發(fā)明專利]直拉式單晶爐的下爐體

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110455596.0
• 申請日: 2011-12-31
• 公開（公告）號: CN103184507A
• 公開（公告）日: 2013-07-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 湯仁興
• 申請（專利權(quán)）人: 湯仁興
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00
• 代理公司: 江陰市同盛專利事務(wù)所(普通合伙) 32210
• 代理人: 唐紉蘭;曾丹

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種直拉式單晶爐的下爐體，屬于單晶硅的生產(chǎn)制造設(shè)備領(lǐng)域。

背景技術(shù)

單晶硅是具有完整的點陣結(jié)構(gòu)的晶體，是一種良好的半導(dǎo)體材料，目前被廣泛用于半導(dǎo)體器件以及太陽能電池的制造?，F(xiàn)有的單晶硅制造設(shè)備為單晶爐，其主要包括爐底、上爐體、下爐體、爐蓋、隔離閥和副爐六大部分組成。

以往的直拉式單晶爐的下爐體只有單層爐壁，而單晶爐工作過程中爐體部分長時間處于高溫狀態(tài)，所以爐壁很容易損壞，從而影響了下爐體的使用壽命。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于克服上述不足，提供一種熱量能被有效吸收，爐壁不易損壞，使用壽命較長的單晶爐下爐體。

本發(fā)明的目的是這樣實現(xiàn)的：

本發(fā)明直拉式單晶爐的下爐體，包括下爐體本體，所述下爐體本體包括內(nèi)壁和外壁，所述內(nèi)壁和外壁之間設(shè)有水夾層，所述水夾層內(nèi)從上到下交錯布置有若干柵板，相鄰的兩塊柵板中，一塊柵板的一端固定在內(nèi)壁上，另一端與外壁之間留有間隙，而另一塊柵板一端固定在外壁上，另一端與內(nèi)壁之間留有間隙，所述外壁上開設(shè)有與水夾層相連通的進水口和出水口，所述內(nèi)壁和外壁的上下兩端分別連有上法蘭和下法蘭，所述外壁上開設(shè)有鎂棒接口，所述鎂棒接口與水夾層相連通。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：

這種直拉式單晶爐的下爐體在水夾層內(nèi)設(shè)有交錯布置的柵板，可以增加水的停留時間，并且增加了水與內(nèi)壁和外壁的接觸面，提高了冷卻降溫的效果，從而有效吸收熱量，使?fàn)t壁不易損壞，并且外壁上開設(shè)了鎂棒接口，鎂棒接口與內(nèi)壁與外壁之間的水夾層相連通，鎂棒接口中插入鎂棒后，將代替內(nèi)壁和外壁上的鐵與自來水中的氯離子發(fā)生反應(yīng)，使得氯離子不會對爐壁產(chǎn)生腐蝕。

附圖說明

圖1為本發(fā)明直拉式單晶爐的下爐體的結(jié)構(gòu)示意圖。

其中：下爐體本體1、內(nèi)壁2、外壁3、水夾層4、柵板5、進水口6、出水口7、上法蘭8、下法蘭9、鎂棒接口10。

具體實施方式

參見圖1，本發(fā)明涉及的直拉式單晶爐的下爐體，它包括下爐體本體1，所述下爐體本體1包括內(nèi)壁2和外壁3，所述內(nèi)壁2和外壁3之間設(shè)有水夾層4，所述水夾層4中通入自來水用于對下爐體降溫，所述水夾層4內(nèi)從上到下交錯布置有若干柵板5，相鄰的兩塊柵板5中，一塊柵板5的一端固定在內(nèi)壁2上，另一端與外壁3之間留有間隙，而另一塊柵板5一端固定在外壁3上，另一端與內(nèi)壁2之間留有間隙，所述外壁3上開設(shè)有與水夾層4相連通的進水口6和出水口7，所述內(nèi)壁2和外壁3的上下兩端分別連有上法蘭8和下法蘭9，所述外壁3上開設(shè)有鎂棒接口10，所述鎂棒接口10與水夾層4相連通，鎂棒接口10中插入鎂棒后，將代替內(nèi)壁2和外壁3上的鐵與自來水中的氯離子發(fā)生反應(yīng)，使得氯離子不會對爐壁產(chǎn)生腐蝕。

由于水夾層4內(nèi)設(shè)有交錯布置的柵板5，可以增加水的停留時間，并且增加了水與內(nèi)壁2和外壁3的接觸面，提高了冷卻降溫的效果，從而有效吸收熱量，使?fàn)t壁不易損壞。