[發明專利]單晶爐的熱屏

無效

• 申請號: 201110455273.1
• 申請日: 2011-12-31
• 公開（公告）號: CN103184509A
• 公開（公告）日: 2013-07-03
• 發明（設計）人: 湯仁興
• 申請（專利權）人: 湯仁興
• 主分類號: C30B15/14
• 分類號: C30B15/14
• 代理公司: 江陰市同盛專利事務所(普通合伙) 32210
• 代理人: 唐紉蘭;曾丹

技術領域

本發明涉及一種單晶爐的熱屏，屬于單晶硅的生產制造設備技術領域。

背景技術

單晶硅是具有完整的點陣結構的晶體，是一種良好的半導體材料，目前被廣泛用于半導體器件以及太陽能電池的制造。現有的單晶硅制造設備為單晶爐，其主要包括爐底、下爐體、上爐體、上爐蓋、隔離閥和副爐六大部分組成。

其中下爐體中固定有熱屏，用于對放入其內部的單晶硅進行加熱。熱屏在加熱過程中需要保持較高的溫度，然而以往單晶爐熱屏僅由內熱屏層和外熱屏層兩層組成，其的保溫效果較差，導致單晶硅的生產受到影響。

發明內容

本發明的目的在于克服上述不足，提供一種能夠保證單晶硅正常生產，保溫效果較好的單晶爐的熱屏。

本發明的目的是這樣實現的：

本發明單晶爐的熱屏，內熱屏層和外熱屏層，所述內熱屏層和外熱屏層之間設有保溫層。

所述保溫層為軟氈。

這種單晶爐的熱屏具有以下優點：

這種單晶爐的熱屏在內熱屏層和外熱屏層之間增設了保溫層，該保溫層的材料為軟氈，其導熱系數小，隔熱性能好，使得內熱屏層的溫度不易傳到外熱屏層上，從而提高了熱屏的保溫性能，保證了單晶硅的正常生產。

附圖說明

圖1為本發明單晶爐的熱屏的結構示意圖。

圖中：內熱屏層1、外熱屏層2、保溫層3。

具體實施方式

參見圖1，本發明涉及的一種單晶爐的熱屏，包括內熱屏層1和外熱屏層2，所述內熱屏層1和外熱屏層2之間設有保溫層3，該保溫層3為軟氈，其導熱系數較低，隔熱性能好，使得內熱屏層1的溫度不易傳到外熱屏層2上，從而提高了熱屏的保溫性能，保證了單晶硅的正常生產。