[發(fā)明專利]單晶硅晶棒的取棒裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110455272.7
• 申請日: 2011-12-31
• 公開（公告）號: CN103184506A
• 公開（公告）日: 2013-07-03
• 發(fā)明（設計）人: 湯仁興
• 申請（專利權(quán)）人: 湯仁興
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B35/00;C30B29/06
• 代理公司: 江陰市同盛專利事務所(普通合伙) 32210
• 代理人: 唐紉蘭;曾丹

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種單晶硅晶棒的取棒裝置，屬于單晶硅的生產(chǎn)制造設備技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

單晶硅是具有完整的點陣結(jié)構(gòu)的晶體，是一種良好的半導體材料，目前被廣泛用于半導體器件以及太陽能電池的制造。單晶硅被拉拔成晶棒后，需要將其從單晶爐中取出。目前將單晶硅晶棒取出的方法是由操作人員帶上手套，用鉗子將晶棒夾出。然而這樣的操作方式存在一定危險性，操作人員一旦不慎便會被高溫的晶棒燙傷，并且單晶硅晶棒在被取出的過程中容易碰到單晶爐，導致單晶硅晶棒的質(zhì)量受到影響。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于克服上述不足，提供一種完全可靠，能保證單晶硅質(zhì)量不受影響的單晶硅晶棒的取棒裝置。

本發(fā)明的目的是這樣實現(xiàn)的：

本發(fā)明單晶硅晶棒的取棒裝置，包括機架和升降桿，所述機架上固定有上下兩塊夾持板，所述升降桿穿過兩塊夾持板上的通孔，所述升降桿底部連有油缸，升降桿的中部固定有鉗子。

這種單晶硅晶棒的取棒裝置具有以下優(yōu)點：

這種單晶硅晶棒的取棒裝置將機架放置于單晶爐旁的地面上后，用鉗子夾住單晶硅晶棒的上部，松開兩塊夾持板，并用油缸推動升降桿上升，從而取出單晶硅晶棒。這樣便能方便地將單晶硅晶棒取出，并且可以保證操作人員的完全，同時取出晶棒時不會抖動，使得單晶硅晶棒在被取出的過程中不會碰到單晶爐，從而保證了單晶硅晶棒的質(zhì)量。

附圖說明

圖1為本發(fā)明單晶硅晶棒的取棒裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：機架1、夾持板2、升降桿3、油缸4、鉗子5。

具體實施方式

參見圖1，本發(fā)明涉及的一種單晶硅晶棒的取棒裝置，包括機架1和升降桿3，所述機架1上固定有上下兩塊夾持板2，所述升降桿3穿過兩塊夾持板2上的通孔，所述升降桿3底部連有油缸4，升降桿3的上部固定有鉗子5。

當需要夾起單晶硅晶棒時，將機架1放置于單晶爐旁的地面上，用鉗子5夾住單晶硅晶棒的上部，松開兩塊夾持板2，并用油缸4推動升降桿3上升，從而取出單晶硅晶棒。這樣便能方便地將單晶硅晶棒取出，并且可以保證操作人員的完全，同時取出晶棒時不會抖動，使得單晶硅晶棒在被取出的過程中不會碰到單晶爐，從而保證了單晶硅晶棒的質(zhì)量。