[發明專利]密封性好的單晶爐爐體

無效

• 申請號: 201110455271.2
• 申請日: 2011-12-31
• 公開（公告）號: CN103184505A
• 公開（公告）日: 2013-07-03
• 發明（設計）人: 湯仁興
• 申請（專利權）人: 湯仁興
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00
• 代理公司: 江陰市同盛專利事務所(普通合伙) 32210
• 代理人: 唐紉蘭;曾丹

技術領域

本發明涉及一種密封性好的單晶爐爐體，屬于單晶硅的生產制造設備技術領域。

背景技術

單晶硅是具有完整的點陣結構的晶體，是一種良好的半導體材料，目前被廣泛用于半導體器件以及太陽能電池的制造。現有的單晶硅制造設備為單晶爐，其主要包括爐底、下爐體、上爐體、上爐蓋、隔離閥和副爐六大部分組成。

以往的上爐體和下爐體之間連接時，是將下爐體頂部設置成凸臺狀，再將上爐體直接蓋在下爐體頂部，這樣便完成了固定。然而這樣固定的上爐體和下爐體之間的密封性較差，爐體內的熱氣容易溢出，影響了單晶硅的生產。

發明內容

本發明的目的在于克服上述不足，提供一種使熱氣不易溢出，保證了單晶硅正常生產的密封性好的單晶爐爐體。

本發明的目的是這樣實現的：

本發明密封性好的單晶爐爐體，包括上爐體和下爐體，所述上爐體的底部設有上法蘭，所述下爐體的頂部設有下法蘭，所述上法蘭和下法蘭之間通過螺絲連接。

這種密封性好的單晶爐爐體具有以下優點：

這種密封性好的單晶爐爐體的上爐體底部設有上法蘭，下爐體的頂部設有下法蘭，所述上法蘭和下法蘭之間通過螺絲連接，上爐體和下爐體之間便得到了牢靠的固定，保證了爐體的密封性，使得爐體內的熱氣不容易溢出，保證了單晶硅的生產質量。

附圖說明

圖1為本發明密封性好的單晶爐爐體的結構示意圖。

圖中：上爐體1、上法蘭1.1、下爐體2、下法蘭2.1。

具體實施方式

參見圖1，本發明涉及的一種密封性好的單晶爐爐體，包括上爐體1和下爐體2，所述上爐體1的底部設有上法蘭1.1，所述下爐體2的頂部設有下法蘭2.1，所述上法蘭1.1和下法蘭2.1之間通過螺絲連接。

這樣上爐體1和下爐體2之間便得到了牢靠的固定，保證了爐體的密封性，使得爐體內的熱氣不容易溢出，保證了單晶硅的生產質量。