[發明專利]一種三軸微型陀螺儀的測試裝置及測試方法

無效

• 申請號: 201110453332.1
• 申請日: 2011-12-29
• 公開（公告）號: CN102564456A
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發明（設計）人: 金魏新
• 申請（專利權）人: 深迪半導體（上海）有限公司
• 主分類號: G01C25/00
• 分類號: G01C25/00
• 代理公司: 北京英特普羅知識產權代理有限公司 11015
• 代理人: 齊永紅;郭少晶

技術領域

本發明涉及一種用于檢測傳感器的檢測精準度是否達到要求的測試方法，尤其涉及一種三軸微型陀螺儀的測試方法。

背景技術

隨著微機電系統(MEMS，Micro-Electro-Mechanical?System)技術的發展，很多基于MEMS技術的微型陀螺儀已經面世，并且在汽車、導航、游戲等領域中得到廣泛的應用。但對于微型陀螺儀來說，在器件的研制、封裝以及其他相關的加工制作過程中，難免會對器件的性能產生不利的影響；此外，器件經過一段時間的使用后，由于材料老化、溫度、濕度等不同環境條件等原因導致其性能必然會產生一定漂移，經過一定時間的累積后所造成的誤差會相當的大，因此，無論是對剛剛出廠的成品還是對于正在使用中的產品，都需要一個穩定而高效的測試平臺，對產品的性能進行標定和校正。

在對陀螺儀的性能進行標定和校正的設備中，最簡單的設備是單軸轉臺，只需用一個馬達和相應的基臺等測試設備就可以完成對器件性能的測試，但是，對于三軸陀螺儀來說，要完成各個軸向的性能測試，需要改變器件的軸向才能進行另外一個軸向的性能測量，顯然，對于三軸微型陀螺儀的測量來說，改變測試軸向增加了設備的復雜度和成本。

發明內容

本發明的一個目的是提供一種不需要改變測試軸向即可完成三軸微型陀螺儀在三個軸向上的測試的測試裝置。

本發明采用的技術方案為：一種三軸微型陀螺儀的測試裝置，包括測試組件和帶動測試組件轉動的驅動件，所述驅動件的轉軸與測試組件的用于安裝待測試三軸微型陀螺儀的測試平面間的夾角為α，所述α大于0度小于90度。

其中，所述測試組件包括測試架和提供所述測試平面的測試主板，所述驅動件帶動測試架轉動；所述測試架的與驅動件的轉軸連接的轉軸連接平面與轉軸垂直，所述測試架的與測試主板連接的主板連接平面與轉軸連接平面相對，且與測試主板的測試平面平行。

其中，所述測試架的轉軸連接平面通過一法蘭盤與驅動件的轉軸連接，所述轉軸連接平面和驅動件的轉軸在法蘭盤的兩側與法蘭盤相貼合。

其中，所述測試架的主板連接平面通過一測試背板與測試主板連接，其中，主板連接平面、測試背板和測試主板彼此平行，測試主板和主板連接平面在測試背板的兩側與測試背面相貼合。

其中，所述測試主板上安裝一角度傳感器，所述角度傳感器的軸向與測試平面的方向平行。

本發明的另一個目的是提供一種應用上述測試裝置的測試方法。

本發明采用的技術方案為：本發明的測試方法包括如下步驟：

步驟1：將待測試三軸微型陀螺儀安裝于測試組件的測試平面上，使三軸微型陀螺儀的z軸與測試平面垂直，x軸和y軸與測試平面平行；

步驟2：使驅動件帶動測試組件以角速度ω轉動；

步驟3：讀取三軸微型陀螺儀分別在z軸、x軸和y軸上輸出的角速度ω_z、ω_x和ω_y；

步驟4：判斷角速度ω_z、ω_x和ω_y是否分別等于ωsinα、ωcosαcosγ和ωcosαsinγ？其中，γ是驅動件的轉軸在測試平面上的投影與三軸微型陀螺儀的x軸之間的夾角。

本發明的有益效果為：采用本發明的測試裝置及測試方法無需改變測試軸向即可完成三軸微型陀螺儀在三個軸向上的測試，設備實現簡單，不僅減少了測試時間，也降低了測試裝置的成本。

附圖說明

圖1示出了根據本發明的三軸微型陀螺儀的測試裝置的一種實施方式的結構示意圖；

圖2示出了驅動件的轉軸與三軸微型陀螺儀的三個軸之間的位置關系。

具體實施方式

本發明的三軸微型陀螺儀的測試裝置包括測試組件和帶動測試組件轉動的例如是馬達的驅動件，如圖1所示，該驅動件1的轉軸11與測試組件的用于安裝待測試三軸微型陀螺儀的測試平面51間的夾角為α，所述α大于0度小于90度。

作為測試組件的一種實施結構，如圖1所示，該測試組件可包括測試架3和提供上述測試平面51的測試主板5，馬達1帶動測試架3轉動；測試架3的與馬達1的轉軸11連接的轉軸連接平面31與轉軸11垂直，測試架3的與測試主板5連接的主板連接平面32與轉軸連接平面31相對，且與測試主板5的測試平面51平行。該測試架3作為測試主板5與馬達1之間的中間連接件，主要可以防止測試主板5與馬達1之間發生運動干涉，影響上述夾角α的精確度。