[發明專利]基板轉運設備

有效

• 申請號: 201110452786.7
• 申請日: 2011-12-30
• 公開（公告）號: CN102569141A
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發明（設計）人: 陳建名
• 申請（專利權）人: 致茂電子(蘇州)有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;B65G49/06
• 代理公司: 北京天平專利商標代理有限公司 11239
• 代理人: 孫剛

1.一種基板轉運設備，用于接收自一進料位置取出的待處理基板以及將已處理基板送進一出料位置，于該進料位置以及出料位置間用于銜接一基板制程裝置，其特征在于，該基板轉運設備包括有：

一設置于該進料位置、用于輸出該些基板至該基板制程裝置的導入機臺，其包含：

至少一組升降模組，該升降模組用以置放至少一個基板承載裝置，該基板承載裝置用以裝載該待處理基板；

至少一組牙叉式軌道，用以將該待處理基板自該基板承載裝置依序取出；

至少一組運行軌道，用以承接運送來自該牙叉式軌道的該待處理基板；

一設置于該出料位置、用于接收來自該基板制程裝置所輸出該已處理基板的導出機臺，其包含：

至少一組的升降模組，該升降模組用以置放至少一個基板承載裝置，該基板承載裝置用以裝載該已處理基板；以及

至少一組牙叉式軌道，用以將該已處理基板依序送入該基板承載裝置；

至少一組運行軌道，用以承接來自該基板制程裝置所輸出該已處理基板；以及

至少兩組于該運行軌道及該牙叉式軌道之間作動的汲取裝置，用于搬運該待處理基板及已處理基板。

2.如權利要求1所述的基板轉運設備，其特征在于，該些運行軌道分別銜接設置于該導入機臺、該基板制程裝置以及該導出機臺、該基板制程裝置之間，用以將該些基板運送到該基板制程裝置前，及/或提供將該些基板自該基板制程裝置取出放置。

3.如權利要求2所述的基板轉運設備，其特征在于，于該導出機臺、該基板制程裝置間的運行軌道設置一組風扇，用以對自該基板制程裝置取出的該些基板吹拂。

4.如權利要求2所述的基板轉運設備，其特征在于，于該導出機臺、該基板制程裝置間的運行軌道設置一組破片檢測感測器，以檢知該些基板的完整狀態。

5.如權利要求1所述的基板轉運設備，其特征在于，各該升降模組內容置兩個基板承載裝置，其中一個基板承載裝置用以進行該基板的運送，而另一個則用以進行該基板承載裝置的更換。

6.如權利要求1所述的基板轉運設備，其特征在于，該些牙叉式軌道具有至少一組導正機構，用以抵靠該些基板以進行偏移導正。

7.如權利要求1所述的基板轉運設備，其特征在于，該些牙叉式軌道設置有至少一個感測器，用以感應控制該些基板于該牙叉式軌道上所停滯的位置。

8.如權利要求1所述的基板轉運設備，其特征在于，該些汲取裝置能對該些基板實施旋轉調整。

9.如權利要求1或8所述的基板轉運設備，其特征在于，該些汲取裝置的任一者可對該基板實施高度調整，使鄰近兩基板高度錯位。

10.一種基板轉運設備，用于接收自一進料位置取出的待處理基板以及將已處理基板送進一出料位置，于該進料位置以及出料位置間用于銜接一基板制程裝置，其特征在于：該基板轉運設備包括有一設置于該進料位置、用于輸出待處理基板至該基板制程裝置的導入機臺；一設置于該出料位置、用于接收來自該基板制程裝置所輸出已處理基板的導出機臺；以及多個于該些導入機臺、導出機臺及基板制程裝置之間搬運該些基板的汲取裝置，所述該些多個汲取裝置可對該些基板實施旋轉調整。