[發明專利]具有橢圓柱狀鰭的凹入式晶體管

有效

• 申請號: 201110452514.7
• 申請日: 2011-12-23
• 公開（公告）號: CN102738223A
• 公開（公告）日: 2012-10-17
• 發明（設計）人: 吳鐵將;陳逸男;劉獻文
• 申請（專利權）人: 南亞科技股份有限公司
• 主分類號: H01L29/423
• 分類號: H01L29/423;H01L29/78
• 代理公司: 深圳新創友知識產權代理有限公司 44223
• 代理人: 江耀純

1.具有橢圓柱狀鰭的凹入式晶體管，其特征在于，包含：

半導體基底，包含一有源區域；

第一絶緣區和第二絶緣區同時設置在所述半導體基底中，所述有源區域位在第一絶緣區和第二絶緣區之間；

柵極結構設置在所述半導體基底中，其中柵極結構包含：

上部分，設置在所述有源區域中；以及

下部分，包含前方鰭、至少一個中間鰭和一個后方鰭，前方鰭設置在所述第一絶緣區，中間鰭設置在所述有源區域，后方鰭設置在所述第二絶緣區，其中，前方鰭和后方鰭都是橢圓柱形；

源極摻雜區，設置在所述有源區域中并且位在所述柵極結構的一側；以及

一漏極摻雜區，設置在所述有源區域中并且位有源所述柵極結構的另一側。

2.如權利要求1所述的具有橢圓柱狀鰭的凹入式晶體管，其特征在于，所述前方鰭和所述後方鰭對稱。

3.如權利要求1所述的具有橢圓柱狀鰭的凹入式晶體管，其特征在于，所述柵極結構的所述下部分另包含一結合組件，所述結合組件連接所述前方鰭和所述中間鰭，所述中間鰭與所述前方鰭相鄰。

4.如權利要求1所述的具有橢圓柱狀鰭的凹入式晶體管，其特征在于，所述柵極結構的所述下部分還包含一結合組件，所述結合組件連接所述后方鰭和所述中間鰭，所述中間鰭與所述后方鰭相鄰。

5.如權利要求1所述的具有橢圓柱狀鰭的凹入式晶體管，其特征在于，所述前方鰭和與所述前方鰭相鄰的所述中間鰭定義出第一凹入區域，所述后方鰭和與所述后方鰭相鄰的所述中間鰭定義出第二凹入區域。

6.如權利要求5所述的具有橢圓柱狀鰭的凹入式晶體管，其特征在于，所述半導體基底的所述有源區域中包含第一突出部和第二突出部。

7.如權利要求6所述的具有橢圓柱狀鰭的凹入式晶體管，其特征在于，所述第一突出部嵌入所述第一凹入區域，所述第二突出部嵌入所述第二凹入區域。

8.如權利要求6所述的具有橢圓柱狀鰭的凹入式晶體管，其特征在于，所述第一突出部位於所述前方鰭和與所述前方鰭相鄰的所述中間鰭之間。

9.如權利要求6所述的具有橢圓柱狀鰭的凹入式晶體管，其特征在于，所述第二突出部位在所述后方鰭和與所述后方鰭相鄰的所述中間鰭之間。

10.如權利要求1所述的具有橢圓柱狀鰭的凹入式晶體管，其特征在于，所述柵極結構的所述上部分包含垂直側壁。

11.如權利要求1所述的具有橢圓柱狀鰭的凹入式晶體管，其特征在于，所述柵極結構的所述下部分包含凹凸狀底部。

12.如權利要求1所述的具有橢圓柱狀鰭的凹入式晶體管，其特征在于，由所述源極摻雜區向所述漏極摻雜區觀看，所述柵極結構的所述下部分為M形。