[發(fā)明專利]一種離子注入機自動建立束線與靶室高真空的方法

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• 申請日: 2011-12-30
• 公開（公告）號: CN103187231A
• 公開（公告）日: 2013-07-03
• 發(fā)明（設計）人: 楊亞兵
• 申請（專利權(quán)）人: 北京中科信電子裝備有限公司
• 主分類號: H01J37/317
• 分類號: H01J37/317;H01J37/304
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種半導體器件制造真空控制系統(tǒng)，尤其涉及離子注入機的一種自動建立束線與靶室高真空的方法。

背景技術(shù)

離子注入機是一種必須在真空系統(tǒng)下才能正常運行的設備，真空系統(tǒng)是離子注入機整個大系統(tǒng)中的一個重要組成部分之一，它是離子注入機傳片系統(tǒng)、引束系統(tǒng)和注入系統(tǒng)的前提和保障，而自動建立高真空系統(tǒng)是離子注入機自動化控制成熟的重要標志，是發(fā)展的必然，自動建立束線與靶室高真空又是離子注入機自動建立高真空系統(tǒng)的一個重要組成部分，因此離子注入機必須擁有自己的一套完善的自動建立高真空系統(tǒng)的方法，才能滿足社會不斷發(fā)展的需求。

鑒于自動建立高真空系統(tǒng)的重要性，如何開發(fā)出一種離子注入機自動建立束線與靶室高真空的方法是離子注入機自動化控制急需解決的問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明是針對離子注入機現(xiàn)有技術(shù)中自動建立束線與靶室高真空系統(tǒng)的不足，影響設備自動化控制，而開發(fā)出的一種離子注入機自動建立束線與靶室高真空的方法。如圖1示意圖。

本發(fā)明通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)：

1.一種離子注入機自動建立束線與靶室高真空的方法，包括：檢測通信是否正常(1)、檢測束線與靶室是否高真空狀態(tài)(2)、束線與靶室高真空未建立(3)、檢測水電氣是否正常(4)、關(guān)束線與靶室的所有閥門(5)、開干泵RP2和差分抽氣泵RP1(6)、冷泵制冷，等待完成(7)、檢測冷泵是否制冷完成(8)、開粗抽閥V8(9)、關(guān)粗抽閥V8，開閥門V61s、分子泵TP3、WP3和源干泵RP3(10)、檢測源分子泵TP1是否開啟(11)、關(guān)閥門V46，開閥門V53(12)、關(guān)閥門V46，開閥門V53(13)、關(guān)閥門V53，開閥門V46(14)、低規(guī)G15和G18值都小于1(15)、開閥門V46和V53(16)、開分子泵TP2(17)、開冷泵隔離閥，高規(guī)除氣(18)、除其完成，開高規(guī)(19)、束線與靶室高真空建立成功(20)、狀態(tài)錯誤(21)、提示錯誤進入手動模式(22)、束線與靶室高真空建立失敗(23)。

2.一種離子注入機自動建立束線與靶室高真空的方法，制定了一個系統(tǒng)全面的流程，每個過程階段都有相應的條件判斷，把設備可能出現(xiàn)的狀態(tài)，全部都考慮了進去，避免了因考慮不周全，存有漏洞，而造成對設備的損壞，根據(jù)設備當前不同的狀態(tài)，進入不同的流程判斷，滿足相應條件后才能進入下一個階段，能夠安全快速地自動建立源高真空。

3.一種離子注入機自動建立束線與靶室高真空的方法，如圖1中所示：自動過程中如果出現(xiàn)狀態(tài)錯誤(21)的問題，會提示錯誤進入手動模式(22)，自動建立源高真空終止，只有再次啟動自動建立束線與靶室高真空，才能進入自動流程模式，這樣設計的目的：一是保護設備；二是這種情況大部分非軟件問題，一般是硬件、結(jié)構(gòu)等其他問題，讓用戶手動處理，可以節(jié)約時間，提高效率。

本發(fā)明具有如下顯著優(yōu)點：

1.考慮的比較全面，從輔助的水電氣系統(tǒng)，到干泵、分子泵、閥門、低規(guī)和高規(guī)等都考慮進去，并完善了各個控制點。

2.各個控制點之間都互相聯(lián)鎖，大幅度降低了因硬件、結(jié)構(gòu)等其他原因，因信號異常，對設備造成的損壞。

3.采用狀態(tài)機的編程模式，通過完善的流程和系統(tǒng)控制方法，在保證設備安全的前提下，提高了程序的執(zhí)行速度，節(jié)約了時間，提高了效率。

附圖說明

圖1為離子注入機自動建立束線與靶室高真空的流程圖。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖1對本發(fā)明作進一步的介紹，但不作為對本發(fā)明的限定。

如圖1中所示，啟動自動建立束線與靶室高真空開始命令，首先程序會判斷通信的狀態(tài)，檢測通信是否高正常(1)，如果通信異常，就會進入狀態(tài)錯誤(21)，程序會提示錯誤并進入手動模式(22)，需要用戶手動進行處理；如果通信正常，就會檢測束線與靶室是否高真空狀態(tài)(2)，如果是高真空狀態(tài)，那么說明束線與靶室已經(jīng)處于高真空狀態(tài)了，即束線與靶室高真空建立成功(20)，這樣自動建立束線與靶室高真空命令執(zhí)行完成就結(jié)束了；如果是非高真空狀態(tài)，說明束線與靶室高真空未建立(3)，這時開始進入較復雜的流程之中。