[發明專利]一種用于引出電極的滑動密封板裝置

在審

• 申請號: 201110452428.6
• 申請日: 2011-12-30
• 公開（公告）號: CN103187229A
• 公開（公告）日: 2013-07-03
• 發明（設計）人: 吳巧艷
• 申請（專利權）人: 北京中科信電子裝備有限公司
• 主分類號: H01J37/317
• 分類號: H01J37/317;H01J37/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種應用于離子注入系統中引出電極的滑動密封板裝置，其特征在于：包含一族橢圓形的槽(共5條)，其中兩側及中間的三條槽用于安裝O型密封圈，且均使用橡膠材質，可以使整個引出電極裝置可靠密封。

2.如權利要求1所述的引出電極的滑動密封板裝置，其特征在于：另外兩條槽內側各設置一個與直通卡套終端接頭(1)相連的通孔，用于在引出電極工作時接通差分抽氣，可以可靠的保證其內部的真空度要求。

3.一種應用于離子注入系統中引出電極的滑動密封板裝置，其特征在于：包含含有通孔的上下兩個固定塊，其中上側的固定塊(2)通過四個螺釘安裝固定帶減速箱的直流無刷小電機，下側固定塊(3)的通孔內側安裝深溝球軸承，使絲桿穩定平滑運動。

4.一種應用于離子注入系統中引出電極的滑動密封板裝置，其特征在于：包含安裝導桿的固定裝置(4)，其通孔內側安裝直線滾動軸承，使導桿在絲桿的作用下穩定平滑運動，最終獲得最佳的引出電場及最佳的引出束流。