[發(fā)明專(zhuān)利]利用金屬納米膏用于形成配線(xiàn)和電極的方法無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201110451983.7 | 申請(qǐng)日： | 2011-12-29 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN102573312A | 公開(kāi)（公告）日： | 2012-07-11 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 張先嬉;李永日;金東勛;金成殷;趙惠真 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 三星電機(jī)株式會(huì)社 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | H05K3/10 | 分類(lèi)號(hào)： | H05K3/10 |
| 代理公司： | 北京康信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11240 | 代理人： | 李丙林;張英 |
| 地址： | 韓國(guó)*** | 國(guó)省代碼： | 韓國(guó);KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 利用 金屬 納米 用于 形成 電極 方法 | ||
1.一種用于形成金屬配線(xiàn)或電極的方法，包括燒結(jié)過(guò)程，其中，所述燒結(jié)包括：
在氮?dú)夥障聦⒒宸胖迷跔t子中并使所述爐子的溫度升高到220℃至240℃，在所述基板上印刷有金屬納米膏；
在羧酸和空氣的混合氣氛下加熱所述基板，同時(shí)使所述爐子的溫度維持在所述溫度范圍；
在所述羧酸和空氣的混合氣氛下，使所述爐子的溫度下降到100℃至150℃；以及
在氮?dú)夥障率顾鰻t子的溫度下降到室溫。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述混合氣氛由40至60vol％的羧酸和60至40vol％的空氣組成。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述氮?dú)夥沼砂陀?0vol％的氫氣和余量的氮?dú)獾暮铣蓺怏w組成。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述金屬納米膏包含選自由銀(Ag)、銅(Cu)、鎳(Ni)、金(Au)、鉑(Pt)、鈀(Pd)、鉛(Pb)、銦(In)、銠(Rh)、釕(Rd)、銥(Ir)、鋨(Os)、鎢(W)、鉭(Ta)、鉍(Bi)、錫(Sn)、鋅(Zn)、鈦(Ti)、鋁(Al)、鈷(Co)和鐵(Fe)組成的組中的至少一種金屬。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述羧酸為甲酸、乙酸、或丙酸。
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