[發(fā)明專利]一種蝕刻機

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110451370.3
• 申請日: 2011-12-30
• 公開（公告）號: CN102492946A
• 公開（公告）日: 2012-06-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 歐陽建英;梁啟光
• 申請（專利權(quán)）人: 特新電路材料（東莞）有限公司
• 主分類號: C23F1/08
• 分類號: C23F1/08
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種蝕刻機，其特征在于：其包括控制系統(tǒng)以及與控制系統(tǒng)電連接的并且依次設(shè)置的進板機構(gòu)（1）、顯影機構(gòu)（2）、蝕刻機構(gòu)（3）、退膜機構(gòu)（4）、脫水烘干機構(gòu)（5）和出板機構(gòu)（6），所述進板機構(gòu)（1）、所述顯影機構(gòu)（2）、所述蝕刻機構(gòu)（3）、所述退膜機構(gòu)（4）、所述脫水烘干機構(gòu)（5）和所述出板機構(gòu)（6）分別通過獨立設(shè)置的傳動裝置（7）連接，所述顯影機構(gòu)（2）、所述蝕刻機構(gòu)（3）和所述退膜機構(gòu)（4）分別連接有分段式排氣裝置（8）、過濾裝置以及泵裝置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種蝕刻機，其特征在于：所述顯影機構(gòu)（2）包括依次設(shè)置的顯影室（20）和第一清洗室（21），所述顯影室（20）內(nèi)設(shè)置有儲存顯影液體的顯影槽（200）和搖擺架噴淋裝置（201）；所述第一清洗室（21）內(nèi)設(shè)置有第一清洗槽（210）和復(fù)數(shù)個位于傳動裝置（7）上下方的清洗噴嘴。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種蝕刻機，其特征在于：所述蝕刻機構(gòu)（3）包括依次設(shè)置的蝕刻室（30）、補償室（31）和第二清洗室（32），所述蝕刻室（30）與所述補償室（31）通過液體管道連接，所述蝕刻室（30）設(shè)置有儲存蝕刻液體的蝕刻槽（300）和搖擺架噴淋裝置（201）；所述補償室（31）設(shè)置有補償裝置（310），補償裝置（310）由復(fù)數(shù)根上噴管（3100）和復(fù)數(shù)根下噴管（3101）構(gòu)成，上噴管（3100）和下噴管（3101）分別通過氣閥（3102）與進水管（3103）連接，上噴管（3100）和下噴管（3101）分別設(shè)置有復(fù)數(shù)個補償噴嘴，相鄰的上噴管（3100）之間的噴嘴交錯排布，復(fù)數(shù)根所述上噴管（3100）的噴嘴形成三角型排布，氣閥（3102）與進水管（3103）之間連接有壓力表（3104）；所述第二清洗室（32）設(shè)置有第二清洗槽（320）和復(fù)數(shù)個位于傳動裝置（7）上下方的清洗噴嘴。

4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的一種蝕刻機，其特征在于：所述搖擺架噴淋裝置（201）由搖擺架（202）和壓力控制裝置（203）構(gòu)成，搖擺架（202）通過上接軟管（204）和下接軟管（205）與壓力控制裝置（203）相連接，所述搖擺架（202）包括上噴架（2020）和下噴架（2021），所述上噴架（2020）和所述下噴架（2021）通過搖臂（2022）連接，上噴架（2020）的板面和下噴架（2021）的板面上分別設(shè)置有復(fù)數(shù)個出水口（2023），所述出水口（2023）是均勻分布的，出水口（2023）上設(shè)置有噴嘴，上噴架（2020）固定連接有拉臂（2024），拉臂（2024）設(shè)置有偏心塊（2025），偏心塊（2025）與馬達連接軸（2026）連接，搖臂（2022）中間設(shè)置有固定銷（2027）；所述壓力控制裝置（203）包括壓力表（2030）和球閥（2031）。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種蝕刻機，其特征在于：所述退膜機構(gòu)（4）包括依次設(shè)置的退膜室（40）和第三清洗室（41），所述退膜室（40）設(shè)置有儲存退膜液體的退膜槽（400）和噴灑裝置（401），所述噴灑裝置（401）設(shè)置有噴管（4010）和噴嘴（4011），噴嘴（4011）由噴嘴座（4012）、噴頭（4013）和噴嘴蓋（4014）組成，噴頭（4013）設(shè)置于噴嘴座（4012）內(nèi)，噴嘴蓋（4014）連接于噴嘴座（4012），噴嘴座（4012）通過前夾扣（4015）和后夾扣（4016）固定在噴管（4010）沿長度方向設(shè)置的出水孔（4017）上，前夾扣（4015）和后夾扣（4016）通過螺栓連接；所述第三清洗室（41）內(nèi)設(shè)置有第三清洗槽（410）和復(fù)數(shù)個位于傳動裝置（7）上下方的清洗噴嘴。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種蝕刻機，其特征在于：所述脫水烘干機構(gòu)（5）包括依次設(shè)置的冷風(fēng)吹干裝置（50）和熱風(fēng)烘干裝置（51），所述熱風(fēng)烘干裝置（51）設(shè)置有鼓風(fēng)機（510）、熱風(fēng)分支器（511）和熱風(fēng)管（512），鼓風(fēng)機（510）和熱風(fēng)分支器（511）位于傳送裝置（7）的下方，所述傳送裝置（7）的上下兩側(cè)分別設(shè)置有風(fēng)刀裝置（513）。