[發明專利]干涉式高密度圓光柵偏心檢測裝置

無效

• 申請號: 201110451038.7
• 申請日: 2011-12-29
• 公開（公告）號: CN102564308A
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發明（設計）人: 艾華;曹艷波
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: G01B11/00
• 分類號: G01B11/00;G01B11/27
• 代理公司: 長春菁華專利商標代理事務所 22210
• 代理人: 南小平

1.干涉式高密度圓光柵偏心檢測裝置，其特征在于，該檢測裝置包括一號激光器(1)、一號準直鏡(2)、副光柵盤(4)、一號光電接收器(5)、二號光電接收器(6)、二號準直鏡(7)、二號激光器(8)、主軸(9)、軸套(10)、光柵連接座(11)和示波器；待檢測的主光柵盤(3)固定在主軸(9)的平臺上，副光柵盤(4)固定在光柵連接座(11)上；光柵連接座(11)固定在軸套(10)上，光柵連接座(11)與軸套(10)同軸；軸套(10)與主軸(9)同軸，通過軸承動連接；副光柵盤(4)與主軸(9)通過光柵連接座(11)和軸套(10)實現同軸；一號激光器(1)與二號激光器(8)、以及一號準直鏡(2)與二號準直鏡(7)分別對徑安裝于主光柵盤(3)下面的軸套位置，并呈軸心對稱；一號光電接收器(5)和二號光電接收器(6)分別置于副光柵盤(4)的上方；示波器分別與一號光電接收器(5)和二號光電接收器(6)連接；一號激光器(1)發出的激光經過一號準直鏡(2)后變為平行光，垂直入射到主光柵盤(3)中，經過主光柵盤(3)的一次衍射和副光柵盤(4)的二次衍射后，產生干涉條紋，干涉條紋經過一號光電接收器(5)轉換為電信號后，由示波器接收，得到主光柵盤(3)的位移正弦信號；二號激光器(8)發出的激光經過二號準直鏡(7)后變為平行光，垂直入射到主光柵盤(3)中，經過主光柵盤(3)的一次衍射和副光柵盤(4)的二次衍射后，產生干涉條紋，干涉條紋經過二號光電接收器(6)轉換為電信號后，由示波器接收，得到主光柵盤(3)的位移正弦信號；根據示波器中不同相位正弦信號的合成，能夠得出主光柵盤(3)的偏心位置和偏心量。

2.如權利要求1所述的干涉式高密度圓光柵偏心檢測裝置，其特征在于，所述主光柵盤(3)和副光柵盤(4)的光柵柵距相同，二者的安裝間距δ為毫米數量級。

3.如權利要求1所述的干涉式高密度圓光柵偏心檢測裝置，其特征在于，所述一號激光器(1)與二號激光器(8)發出的激光均為單色光，其波長為380nm～800nm。