[發明專利]脈沖激光刻蝕玻璃基底油墨上銅導電膜的裝置及其方法

無效

• 申請號: 201110450287.4
• 申請日: 2011-12-29
• 公開（公告）號: CN102416528A
• 公開（公告）日: 2012-04-18
• 發明（設計）人: 趙裕興;狄建科;蔡仲云
• 申請（專利權）人: 蘇州德龍激光有限公司
• 主分類號: B23K26/36
• 分類號: B23K26/36;B23K26/14;B23K26/04;B23K26/42
• 代理公司: 南京蘇科專利代理有限責任公司 32102
• 代理人: 王玉國;陳忠輝

1.脈沖激光刻蝕玻璃基底油墨上銅導電膜的裝置?，其特征在于：高頻率脈沖激光器（1）的輸出端布置有光閘（2），光閘（2）的輸出端設置有擴束鏡（3），擴束鏡（3）的輸出端布置有1/2波片（4），1/2波片（4）的輸出端布置有格蘭棱鏡（5），格蘭棱鏡（5）的輸出端布置有高反射率鏡片（6），高反射率鏡片（6）的輸出端布置有全反射鏡（10），全反射鏡（10）的輸出端布置有振鏡場鏡系統（8），振鏡場鏡系統（8）的輸出端正對于四軸高精度平臺（14），所述四軸高精度平臺（14）的上方布置有CCD對位觀察系統（11），所述四軸高精度平臺（14）的一側布置有等離子吹氣系統（12），四軸高精度平臺（14）的另一側安裝有集塵系統（13），高反射率鏡片（6）的輸出端還布置有功率實時監測探頭（7），監測探頭（7）通過通訊系統（16）與控制系統（17）相連，振鏡場鏡系統（8）通過通訊系統（16）與控制系統（17）相連。

2.根據權利要求1所述的脈沖激光刻蝕玻璃基底油墨上銅導電膜的裝置，其特征在于：所述高頻率脈沖激光器（1）是波長為196nm～1064nm、脈寬在10ps～200ns、重復頻率在50KHz以上的脈沖激光器。

3.利用權利要求1所述裝置實現脈沖激光刻蝕玻璃基底油墨上銅導電膜的方法，其特征在于：加工前激光焦點聚焦位于加工材料的上表面，高頻率脈沖激光器（1）發出的激光由光閘（2）控制開關光，光閘（2）控制激光光束后經過擴束鏡（3）對光束進行同軸擴束，改善光束傳播的發散角，使光路準直；經擴束鏡（3）擴束準直后光束進入1/2波片（4）和格蘭棱鏡（5），經格蘭棱鏡（5）的激光依次經高反射率鏡片（6）和全反射鏡片（10）調整路線后進入振鏡場鏡系統（8），同時激光在經高反射率鏡片（6）后的折射光進入功率實時監測探頭（7），功率實時監測探頭（7）監測折射光的功率變化，功率實時監測探頭（7）通過通訊系統（16）將探測結果傳輸到控制系統（17），當激光功率波動超過幅度以至影響加工效果時，控制系統（17）控制其停止加工；光束到達振鏡場鏡系統（8）后，經過通訊系統（16）與控制系統（17）進行數據通信，將掃描圖形轉化為數字信號，將圖形轉化在需要刻蝕的加工材料（15）上，加工材料（15）通過真空吸附于四軸高精度平臺（14）上；控制系統（17）根據加工圖的識別和導入，經過CCD對位觀察系統（11）將導入的定位靶標拍攝并抓取，控制加工；蝕刻產生的粉塵由等離子吹氣系統（12）產生氣流，由集塵系統（13）收集粉塵。