[發明專利]脈沖激光刻蝕油墨上銀漿導電膜層的裝置及其方法

無效

• 申請號: 201110450163.6
• 申請日: 2011-12-29
• 公開（公告）號: CN102500930A
• 公開（公告）日: 2012-06-20
• 發明（設計）人: 趙裕興;狄建科;蔡仲云
• 申請（專利權）人: 蘇州德龍激光有限公司
• 主分類號: B23K26/36
• 分類號: B23K26/36;B23K26/06;B23K26/16;B23K26/42
• 代理公司: 南京蘇科專利代理有限責任公司 32102
• 代理人: 王玉國;陳忠輝

1.脈沖激光刻蝕油墨上銀漿導電膜層的裝置，其特征在于：高頻率脈沖激光器（1）的輸出端布置有光閘（2），光閘（2）的輸出端設置有擴束鏡（3），擴束鏡（3）的輸出端布置有半透半反鏡片（4），半透半反鏡片（4）的輸出端布置有第一1/2波片（5）和第二高反射率鏡片（19），第一1/2波片（5）的輸出端布置有第一格蘭棱鏡（6），第一格蘭棱鏡（6）的輸出端布置有第一高反射率鏡片（9），第一高反射率鏡片（9）的輸出端布置有第一振鏡場鏡系統（7），第一振鏡場鏡系統（7）的輸出端正對于四軸高精度平臺（15）；第二高反射率鏡片（19）的輸出端布置有第二1/2波片（20），第二1/2波片（20）的輸出端布置有第二格蘭棱鏡（21），第二格蘭棱鏡（21）的輸出端布置有第三高反射率鏡片（24），第三高反射率鏡片（24）的輸出端布置有第二振鏡場鏡系統（22），第二振鏡場鏡系統（22）的輸出端正對于四軸高精度平臺（15）；所述四軸高精度平臺（15）的上方布置有CCD對位觀察系統（11），所述四軸高精度平臺（15）的一側布置有吹氣系統（12），另一側安裝有集塵系統（13），第一高反射率鏡片（9）的輸出端還布置有第一功率實時監測探頭（10），第三高反射率鏡片（24）的輸出端還布置有第二功率實時監測探頭（25），第一功率實時監測探頭（10）和第二功率實時監測探頭（25）通過通訊系統（16）與控制系統（17）相連，第一振鏡場鏡系統（7）和第二振鏡場鏡系統（22）通過通訊系統（16）與控制系統（17）相連。

2.根據權利要求1所述的脈沖激光刻蝕油墨上銀漿導電膜層的裝置，其特征在于：所述高頻率脈沖激光器（1）是波長為196nm～1064nm、脈寬在10ps～200ns、重復頻率在50KHz以上的脈沖激光器。

3.權利要求1所述裝置實現脈沖激光刻蝕油墨上銀漿導電膜層的方法，其特征在于：加工前激光焦點聚焦位于加工材料的上表面，高頻率脈沖激光器（1）發出的激光由光閘（2）控制開關光，光閘（2）控制激光光束后經過擴束鏡（3）對光束進行同軸擴束，改善光束傳播的發散角，使光路準直；經擴束鏡（3）擴束準直后光束進入半透半反鏡片（4），半透半反鏡片（4）將激光分為兩束同功率激光，一束激光進入第一1/2波片（5）和第一格蘭棱鏡（6），一束激光進入第二高反射率鏡片（19）；

經第一格蘭棱鏡（6）激光由第一高反射率鏡片（9）調整路線后進入第一振鏡場鏡系統（7），同時激光在經第一高反射率鏡片（9）后的折射光進入第一功率實時監測探頭（10），第一功率實時監測探頭（10）監測折射光的功率變化；第一功率實時監測探頭（10）通過通訊系統（16）將探測結果傳輸到控制系統（17），當激光功率波動超過幅度以至影響加工效果時，控制系統（17）控制其停止加工；光束到達第一振鏡場鏡系統（7）后，經過通訊系統（16）與控制系統（17）進行數據通信，將掃描圖形轉化為數字信號，將圖形轉化在需要刻蝕的加工材料（14）上；?

第二高反射率鏡片（19）輸出激光進入第二1/2波片（20）和第二格蘭棱鏡（21），經第二格蘭棱鏡（21）激光由第三高反射率鏡片（24）調整路線后進入第二振鏡場鏡系統（22），同時激光在經第三高反射率鏡片（24）后的折射光進入第二功率實時監測探頭（25），第二功率實時監測探頭（25）監測折射光的功率變化；第二功率實時監測探頭（25）通過通訊系統（16）將探測結果傳輸到控制系統（17），當激光功率波動超過幅度以至影響加工效果時，控制系統（17）控制其停止加工；光束到達第二振鏡場鏡系統（22）后，經過通訊系統（16）與控制系統（17）進行數據通信，將掃描圖形轉化為數字信號，將圖形轉化在需要刻蝕的加工材料（14）上；

加工材料（14）通過真空吸附于四軸高精度平臺（15）上，控制系統（17）根據加工圖的識別和導入，經過CCD對位觀察系統（11）將導入的定位靶標拍攝并抓取，控制加工；蝕刻產生的粉塵由等離子吹氣系統（12）產生氣流，由集塵系統（13）收集粉塵。