[發(fā)明專利]一種納米熱壓印裝置無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201110450091.5 | 申請日： | 2011-12-29 |
| 公開（公告）號： | CN102436141A | 公開（公告）日： | 2012-05-02 |
| 發(fā)明（設計）人： | 史曉華;冀然;陳沁;薛愉峰 | 申請（專利權(quán)）人： | 蘇州光舵微納科技有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/00 | 分類號： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 南京理工大學專利中心 32203 | 代理人： | 朱顯國 |
| 地址： | 215513 江蘇省蘇州市常*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 納米 壓印 裝置 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種納米熱壓印裝置，包括模具（16）、毛坯（15）、加熱盤（14）、底座（9）、腔體（3），加熱盤（14）放置在底座（9）上，毛坯（15）放置在加熱盤（14）上，模具（16）放置在毛坯（15）上，腔體（3）與底座（9）活動密封形成密閉空間，模具（16）、毛坯（15）和加熱盤（14）封閉在該密閉空間內(nèi)，其特征在于：所述腔體（3）內(nèi)還設置有膜（6），該膜（6）在所述腔體（3）與底座（9）的密封接觸面處被固定，將腔體與底座構(gòu)成的密閉空間分成壓力腔（12）和真空腔（11），壓力腔（12）與進氣道（5）相通，真空腔（11）與排氣道（10）相通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米熱壓印裝置，其特征在于：所述膜（6）為耐高溫膜。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米熱壓印裝置，其特征在于：所述壓力腔（12）內(nèi)設置有用于紫外固化的紫外燈（13）。
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