[發明專利]測試分選機用半導體元件吸附及解除吸附壓強提供系統

有效

• 申請號: 201110448713.0
• 申請日: 2011-12-22
• 公開（公告）號: CN102602701A
• 公開（公告）日: 2012-07-25
• 發明（設計）人: 李俊榮;全寅九
• 申請（專利權）人: 泰克元有限公司
• 主分類號: B65G47/91
• 分類號: B65G47/91;B65G49/07;B65G49/05;B07C5/00
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286
• 代理人: 金光軍

技術領域

本發明涉及測試分選機，尤其涉及向用于吸附半導體元件或解除半導體元件的吸附的拾放裝置的拾取器提供負壓或消除負壓的壓強的技術。

背景技術

生產出的半導體元件在出廠之前由測試機進行測試，此時作為將半導體元件電氣連接地供應到測試機的設備而使用測試分選機。

這種測試分選機執行如下的作業。即，將裝載于用戶托盤的半導體元件移動并裝載到測試托盤(以測試托盤為基準進行裝載)之后，將處于裝載于測試托盤的狀態的半導體元件供應到測試機中，將完成測試的半導體元件從測試托盤移動并裝載到分選臺(以測試托盤為基準進行卸載)之后，重新根據測試結果對半導體元件進行分類的同時將半導體元件從分選臺移動并裝載到客戶托盤。

因此，測試分選機具備用于將半導體元件從用戶托盤移動并裝載至測試托盤、從測試托盤移動并裝載至分選臺、從分選臺移動并裝載至用戶托盤的多個拾放裝置。這種拾放裝置一般情況下以矩陣形態具備用于吸附半導體元件或解除對半導體元件的吸附的拾取器，這些拾取器利用負壓吸附半導體元件或者利用消除負壓的壓強解除對半導體元件的吸附。在此，各拾取器具備軟質的吸盤，負壓或消除負壓的壓強最終將提供到吸盤。為此，測試分選機具有如下的系統，即該系統向拾放裝置的拾取器提供用于吸附半導體元件的負壓或用于解除半導體元件的吸附的消除負壓的壓強。

通常，該系統具備用于向拾取器提供負壓的主真空管、從主真空管分支到拾放裝置的各個拾取器的分支真空管、用于向拾取器提供消除負壓的壓強的主真空消除管、從主真空消除管分支到拾放裝置的各個拾取器的分支真空消除管，且設置成通過主真空管和分支真空管提供負壓，通過主真空消除管和分支真空消除管提供消除負壓的壓強。

并且，具備用于選擇性地開閉真空管和真空消除管的開閉裝置。開閉裝置具備能夠選擇性地開閉壓強傳送通道連接至同一個拾取器的分支真空管和分支真空消除管的一個高價的開閉閥，或者具備用于分別開閉壓強傳送通道連接至同一個拾取器的分支真空管和分支真空消除管的各個開閉閥(參照韓國公開專利10-2010-43552)。

但是，當考慮到每個拾取器需要具備高價的開閉閥或兩個開閉閥，且測試分選機具有多個(8個、16個、32個等)拾取器的情況時，高價的開閉閥或兩個開閉閥將成為導致生產成本上升的原因。

并且，存在需要對分支真空管和分支真空消除管全部進行控制的困難，尤其，即使調節所輸入的消除負壓的壓強，也需要一一檢查各個分支真空消除管中的消除負壓的壓強，調節各個開閉閥的開啟程度，使消除負壓的壓強處于一定范圍內，由此使拾取器獲得適宜的消除負壓的壓強，因此導致增加設置時間，成為生產率下降的一個原因。

發明內容

本發明的目的在于提供一種技術，該技術僅使用只對通過分支真空消除管的消除負壓的壓強傳送通道進行管理的開閉閥即可。

為了實現上述目的，本發明提供的測試分選機用半導體元件吸附及解除吸附壓強提供系統包括：主真空管，用于向拾放裝置的多個拾取器提供負壓；多個分支真空管，從所述主真空管向各個所述多個拾取器分支；負壓提供器，用于通過所述主真空管及多個分支真空管向所述拾放裝置的多個拾取器提供負壓；主真空消除管，用于向所述拾放裝置的多個拾取器提供消除負壓的壓強；多個分支真空消除管，從所述主真空消除管向各個所述多個拾取器分支，且分別與所述多個分支真空管在預定地點上形成合流；消除負壓的壓強提供器，用于通過所述主真空消除管及多個分支真空消除管向所述拾放裝置的多個拾取器提供消除負壓的壓強；多個開閉閥，用于分別選擇性地開閉各個所述多個分支真空消除管。并且，所述負壓提供器通過所述主真空管及多個分支真空管持續向所述拾放裝置的多個拾取器提供負壓，而且，當所述多個分支真空消除管根據所述開閉閥的動作而開放時，所述消除負壓的壓強提供器通過所述主真空消除管及多個分支真空消除管向所述拾放裝置的多個拾取器提供消除負壓的壓強，所述消除負壓的壓強能夠克服由所述負壓提供器向所述拾放裝置的多個拾取器提供的負壓，同時能夠解除所述拾放裝置的多個拾取器所吸附著的半導體元件的吸附。

并且，本發明提供的測試分選機用半導體元件吸附及解除吸附壓強提供系統還包括逆流防止器，用于防止具有消除負壓的壓強的壓縮空氣通過所述多個分支真空管發生逆流。

根據本發明，無需管理分支真空管，僅使用只對分支真空消除管進行管理的開閉閥即可，因此具有能夠節省生產成本的效果。

并且，僅對所輸入的消除負壓的壓強進行調節即可，因此使得設置時間以及作業工時變少，具有提高生產率的效果。

附圖說明