[發(fā)明專利]一種擴散電阻的仿真方法及系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110448637.3
• 申請日: 2011-12-28
• 公開（公告）號: CN102521466A
• 公開（公告）日: 2012-06-27
• 發(fā)明（設計）人: 張磊兢;胡林輝
• 申請（專利權）人: 上海新進半導體制造有限公司
• 主分類號: G06F17/50
• 分類號: G06F17/50;G01R27/14
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 逯長明;王寶筠

1.一種擴散電阻的仿真方法，其特征在于，包括：

將擴散電阻的第一端接預設第一電壓，第二端接地，對第三端進行電壓掃描，掃描電壓取值為0至預設第二電壓；測量對第三端進行電壓掃描的過程中擴散電阻的電流；根據(jù)對第三端進行電壓掃描過程中擴散電阻第三端的掃描電壓和測量得到的電流，確定擴散電阻的第三端調制效應的一階電壓系數(shù)和二階電壓系數(shù)；

將擴散電阻的第三端接地，第一端和第二端中的一端接地，對另一端進行電壓掃描，掃描電壓取值為0至預設第三電壓；測量對所述另一端進行電壓掃描的過程中擴散電阻的電流；根據(jù)對所述另一端進行電壓掃描的過程中所述另一端的掃描電壓和測量得到的電流、以及所述一階電壓系數(shù)和二階電壓系數(shù)，確定擴散電阻的速度飽和效應的一階電壓系數(shù)和二階電壓系數(shù)；

根據(jù)擴散電阻的第三端調制效應的一階電壓系數(shù)和二階電壓系數(shù)，以及速度飽和效應的一階電壓系數(shù)和二階電壓系數(shù)建立擴散電阻的仿真模型；

根據(jù)所述仿真模型進行擴散電阻的仿真。

2.根據(jù)權利要求1所述的方法，其特征在于，根據(jù)對第三端進行電壓掃描過程中擴散電阻第三端的掃描電壓和測量得到的電流，確定擴散電阻的第三端調制效應的一階電壓系數(shù)和二階電壓系數(shù)包括：

根據(jù)擴散電阻第三端的掃描電壓以及測量得到的掃描電壓對應的電流計算擴散電阻第三端的掃描電壓對應的擴散電阻的電阻值；

將擴散電阻第三端的掃描電壓以及第三端的掃描電壓對應的擴散電阻的電阻值代入到以下公式中，提取出擴散電阻的第三端調制效應的一階電壓系數(shù)和二階電壓系數(shù)；

R(V1)＝R0*[1+pvc1*abs(V3)+pvc2*V3*V3]

其中，R0表示擴散電阻的零偏壓電阻值，V3表示擴散電阻第三端的電壓，pvc1表示第三端調制效應的一階電壓系數(shù)；pvc2表示第三端調制效應的二階電壓系數(shù)；R(V1)表示擴散電阻第三端的掃描電壓對應的擴散電阻的電阻值。

3.根據(jù)權利要求2所述的方法，其特征在于，根據(jù)對所述另一端進行電壓掃描的過程中所述另一端的掃描電壓和測量得到的電流、以及所述一階電壓系數(shù)和二階電壓系數(shù)，確定擴散電阻的速度飽和效應的一階電壓系數(shù)和二階電壓系數(shù)包括：

根據(jù)所述另一端的掃描電壓以及測量得到的掃描電壓對應的電流計算所述另一端的掃描電壓對應的擴散電阻的電阻值；

將所述另一端的掃描電壓以及所述另一端的掃描電壓對應的擴散電阻的電阻值代入到以下公式中，提取出擴散電阻的速度飽和效應的一階電壓系數(shù)和二階電壓系數(shù)；

R(V1)＝R0*[1+pvc1*abs(V2/2)+pvc2*(V2/2)*(V2/2)]*(1+pvc3*V2+pvc4*V2*V2)；

其中，R0表示擴散電阻的零偏壓電阻值，V2表示所述另一端的電壓，pvc3表示速度飽和效應的一階電壓系數(shù)；pvc4表示速度飽和效應的二階電壓系數(shù)；R(V1)表示所述另一端的掃描電壓對應的擴散電阻的電阻值。

4.根據(jù)權利要求1至3任一項所述的方法，其特征在于，根據(jù)擴散電阻的第三端調制效應的一階電壓系數(shù)和二階電壓系數(shù)，以及速度飽和效應的一階電壓系數(shù)和二階電壓系數(shù)建立擴散電阻的仿真模型包括：

將所述擴散電阻的第三端調制效應的一階電壓系數(shù)和二階電壓系數(shù)，以及速度飽和效應的一階電壓系數(shù)和二階電壓系數(shù)代入到以下公式中，建立擴散電阻的仿真模型；

R＝R0(1+pvc1((abs(V1-V3)+abs(V2-V3))/2)+pvc2((abs(V1-V3)+abs(V2-V3))/2)*((abs(V1-V3)+abs(V2-V3))/2)))*(1+pvc3*abs(V2-V1)+pvc4(V2-V1)*(V2-V1))；

其中，V1表示第一端和第二端中接地一端的電壓；V2表示所述另一端的電壓；V3表示第三端的電壓；abs表示絕對值，R表示擴散電阻的電阻值。

5.根據(jù)權利要求1至4任一項所述的方法，其特征在于，所述預設第一電壓不大于0.5V。

6.根據(jù)權利要求5所述的方法，其特征在于，所述預設第一電壓為0.1V。