[發明專利]一種用于靜電吸盤的射頻濾波器

有效

• 申請號: 201110448621.2
• 申請日: 2011-12-28
• 公開（公告）號: CN103187943B
• 公開（公告）日: 2017-02-08
• 發明（設計）人: 羅偉義;飯塚浩;陳妙娟;倪圖強
• 申請（專利權）人: 中微半導體設備（上海）有限公司
• 主分類號: H03H7/01
• 分類號: H03H7/01;H03H7/09
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司31002
• 代理人: 王潔

1.一種用于靜電吸盤的射頻濾波器，所述靜電吸盤安裝在一個等離子處理裝置中用于固定待處理基片，所述等離子處理裝置包括具有多個射頻頻率的射頻電源連接到等離子發生裝置，

所述靜電夾盤包括一個加熱電極，一個射頻濾波器連接在所述靜電夾盤加熱電極和一個加熱電源之間，

其特征在于，所述射頻濾波器包含一個鐵芯電感和一個空氣電感以及一個濾波電容。

2.如權利要求1所述用于靜電吸盤的射頻濾波器，其特征在于，所述靜電吸盤中設置有若干加熱元件對應不同的區域，所述若干個加熱原件通過多個濾波器電連接到加熱電源。

3.如權利要求1所述用于靜電吸盤的射頻濾波器，其特征在于，所述濾波器包括相互串聯的一個空氣電感和一個鐵芯電感電連接到所述加熱電源的功率輸入端，一個濾波電容連接在所述功率輸入端和接地點之間。

4.如權利要求1所述用于靜電吸盤的射頻濾波器，其特征在于，所述加熱電源輸入端輸入工頻或直流的加熱電壓。

5.如權利要求1所述用于靜電吸盤的射頻濾波器，其特征在于，所述具有多個射頻頻率的射頻電源輸出一個高頻射頻頻率的電壓和一個低頻射頻頻率的電壓，

所述濾波器中空氣電感與濾波電容形成的諧振電路，具有第一諧振頻率大于所述高頻射頻頻率；

所述濾波器中鐵芯電感與濾波電容形成的諧振電路，具有第二諧振頻率大于所述低頻射頻的頻率且小于所述高頻射頻頻率。

6.如權利要求5所述用于靜電吸盤的射頻濾波器，其特征在于，所述第一諧振頻率大于所述高頻射頻頻率15％。

7.如權利要求5所述用于靜電吸盤的射頻濾波器，其特征在于，所述第二諧振頻率大于所述低頻射頻頻率50％。

8.如權利要求5所述用于靜電吸盤的射頻濾波器，其特征在于，所述高頻射頻頻率大于40Mhz，低頻射頻頻率低于20Mhz。

9.如權利要求5所述用于靜電吸盤的射頻濾波器，其特征在于所述鐵芯電感在輸入低頻射頻頻率時具有大于1千歐姆的阻抗。

10.一種用于等離子處理裝置的射頻濾波器，所述等離子處理裝置包括一個反應腔，一個具有多個射頻頻率的射頻電源連接到等離子發生裝置，所述具有多個射頻頻率的射頻電源輸出一個高頻射頻頻率的電壓和一個低頻射頻頻率的電壓，其中高頻射頻頻率大于40Mhz，低頻射頻頻率小于20Mhz；

一個電極位于反應腔內與所述多個射頻頻率耦合，并且所述電極有外部驅動電路聯通；

一個濾波器連接在所述電極和驅動電路之間；

其特征在于，所述射頻濾波器包含一個鐵芯電感和一個空氣電感以及一個濾波電容。

11.根據權利要求1所述用于等離子處理裝置的射頻濾波器，所述濾波器包括兩個串聯的鐵芯電感和一個空氣電感。